公开(公告)号：CN1305546C

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN02826135.6

申请日：2002-12-06

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 宇田川诚一郎

IPC: B01D19/00 ,  B05C11/10 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16

CPC classification number: G03F7/162 ,  B01D19/0031 ,  B01D19/0068 ,  G03F7/16 ,  G03F7/3021 ,  G03F7/40 ,  G03F7/422

Abstract: 本发明涉及一种化学液体供应设备和脱气方法。泵(11)排出容纳在液体罐(46)中的液体。过滤器(41)通过一个泵出口流路(42)连接在泵(11)上，所述泵出口流路设有用于打开和关闭流路的泵排出侧阀(V2)。分配喷嘴(液体排出部分)(50)通过一个液体排出流路(48)连接在过滤器(41)上，所述液体排出流路(48)设有用于打开和关闭流路的排出阀(V4)。一个真空源(8)通过一个排气流路(51)与过滤器(41)连通，所述排气流路设有用于打开和关闭流路的脱气阀(V3)。

公开(公告)号：CN1607975A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN02826135.6

申请日：2002-12-06

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 宇田川诚一郎

IPC: B01D19/00 ,  B05C11/10 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16

CPC classification number: G03F7/162 ,  B01D19/0031 ,  B01D19/0068 ,  G03F7/16 ,  G03F7/3021 ,  G03F7/40 ,  G03F7/422

Abstract: 本发明涉及一种化学液体供应设备和脱气方法。泵(11)排出容纳在液体罐(46)中的液体。过滤器(41)通过一个泵出口流路(42)连接在泵(11)上，所述泵出口流路设有用于打开和关闭流路的泵排出侧阀(V2)。分配喷嘴(液体排出部分)(50)通过一个液体排出流路(48)连接在过滤器(41)上，所述液体排出流路(48)设有用于打开和关闭流路的排出阀(V4)。一个真空源(8)通过一个排气流路(51)与过滤器(41)连通，所述排气流路设有用于打开和关闭流路的脱气阀(V3)。