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公开(公告)号：CN1551303A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200310117928.X
申请日：2000-03-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/304 , B24B37/04
CPC classification number: B24B37/205 , B24B37/26
Abstract: 一种用于抛光机的抛光盘，在上述抛光机中，抛光工件在抛光盘与抛光工件之间置入抛光剂的状态下通过使上述抛光盘与抛光工件之间产生相对运动而受到抛光，上述抛光盘的特征在于，在该抛光盘的表面上周期性地或非周期性地形成两种或多种不同类型的凹凸形结构。还提出了使用本发明抛光盘的抛光机和使用这种抛光机制造半导体器件的方法。
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公开(公告)号：CN1345264A
公开(公告)日：2002-04-17
申请号：CN00805734.6
申请日：2000-03-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B24B37/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/205 , B24B37/26
Abstract: 一种非泡沫型材料制成的用于化学机械抛光(CMP)机的硬质抛光盘,在该抛光盘的表面上组合地形成螺旋形槽或同心圆环形槽和栅格式槽,这些槽的交叉角为2°或更大些,使抛光盘表面上没有曲率半径≤50μm的刃边,因此不产生毛边,抛光工件不会出现划痕,从而提高了抛光速度。
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公开(公告)号：CN104584415A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043409.5
申请日：2013-05-31
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H02N2/00
CPC classification number: H02N2/14 , G02B7/08 , H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/0095 , H02N2/026 , H02N2/028
Abstract: 一种振动致动器单元，具备：电机械变换元件，其将被施加的驱动电压的电振动变换为机械振动；和抵接部，其与驱动对象的被驱动面抵接，将电机械变换元件的机械振动作为驱动力传递到被驱动面，电机械变换元件在与被驱动面交叉的第一振动面内周期性弯曲而使抵接部在第一振动面内振动，且在与第一振动面交叉的第二振动面内周期性弯曲而使抵接部在第二振动面内振动。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN1312742C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200310117928.X
申请日：2000-03-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/304 , B24B37/04
Abstract: 一种用于抛光机的抛光垫，在上述抛光机中，抛光工件在抛光垫与抛光工件之间置入抛光剂的状态下通过使上述抛光垫与抛光工件之间产生相对运动而受到抛光，上述抛光垫的特征在于，在该抛光垫的表面上周期性地或非周期性地形成两种或多种不同类型的凹凸形结构。还提出了使用本发明抛光垫的抛光机和使用这种抛光机制造半导体器件的方法。
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公开(公告)号：CN1208812C
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN01817897.9
申请日：2001-11-07
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 松川英二
IPC: H01L21/304 , B24B37/04 , B24B49/12
CPC classification number: B24B37/04 , B24B37/013 , B24B37/042 , B24B49/04 , B24B49/12 , H01L21/30625 , H01L21/3212
Abstract: 在晶片2的研磨中，使光源21发出的测定光照射到晶片2上，用线性传感器31检测其反射光的分光强度。信号处理部11按照传感器31来的检测信号，监视晶片2的研磨状况，检测晶片2的研磨终点。快门机构控制部14响应信号处理部11来的研磨终点检测信号，控制快门机构13的电机13b，使遮光部件13a进出测定光的光路，对晶片2遮断测定光。因此，能够降低研磨状况监视用的测定光给研磨对象物造成的影响。
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公开(公告)号：CN105229528A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480026511.9
申请日：2014-03-03
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种受光装置，其特征在于，具备：第一受光单元；机身部，其固定有第一受光单元；第一外装部，其覆盖机身部的至少一部分；以及装配件，其能够装配替换透镜，并固定所述机身部以及所述第一外装部。受光装置的特征在于，在能够装配替换透镜的装配件固定机身部和第一外装部，机身部固定有第一受光单元，第一外装部覆盖机身部的至少一部分，利用装配件挡住施加于第一外装部的力，使得施加于第一外装部的力向机身部的传递减轻。
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公开(公告)号：CN101911465B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200880124125.8
申请日：2008-12-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B27/646 , G02B7/08 , G02B7/102 , G03B3/10 , G03B19/12 , H01L41/0906 , H04N5/23287 , H04N2101/00
Abstract: 本发明提供一种振动促动器及摄像装置，其具备：旋转轴；与上述旋转轴同轴地配置的振摆回转构件；使上述振摆回转构件振摆回转运动的驱动部；传递构件，其接受由振摆回转运动引起的上述振摆回转构件的振动而旋转运动，并将该旋转运动向上述旋转轴传递；推靠构件，其产生将上述传递构件朝向上述振摆回转构件推靠的推靠力；变换部，其将与加在上述旋转轴上的负载扭距的增加对应地在上述旋转轴与上述传递构件之间产生的位移变换为上述推靠力的变化。根据本发明，无论旋转负载如何，都可以使超声波促动器的动作稳定。
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