公开(公告)号：CN1947225A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200580013194.8

申请日：2005-04-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 生形寿男 ,  宫川晶子

IPC: H01L21/027 ,  B81C1/00

CPC classification number: C03C15/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G02B5/1847 ,  G03F7/0002 ,  H01J9/242

Abstract: 图案转印法包括第一到第三步骤。第一步，把所需的图案转印到形成在基底上的树脂层上，在基底和树脂层之间设置释放层。第二步，在第一步之后执行，把已经转印到树脂层上的图案转印到基底上，并局部暴露释放层。第三步，在第二步后执行，溶解存在于基底和树脂层之间的释放层，并由此从基底上去除该释放层。

公开(公告)号：CN100456422C

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200580013194.8

申请日：2005-04-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 生形寿男 ,  宫川晶子

IPC: H01L21/027 ,  B81C1/00

CPC classification number: C03C15/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G02B5/1847 ,  G03F7/0002 ,  H01J9/242

Abstract: 图案转印法包括第一到第三步骤。第一步，把所需的图案转印到形成在基底上的树脂层上，在基底和树脂层之间设置释放层。第二步，在第一步之后执行，把已经转印到树脂层上的图案转印到基底上，并局部暴露释放层。第三步，在第二步后执行，溶解存在于基底和树脂层之间的释放层，并由此从基底上去除该释放层。