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    计测方法以及计测装置、曝光方法以及曝光装置
    1.
    发明公开
    计测方法以及计测装置、曝光方法以及曝光装置 无效

    公开(公告)号：CN1420982A

    公开(公告)日：2003-05-28

    申请号：CN01807394.8

    申请日：2001-03-29

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 长坂博之 ,  青木贵史

    IPC: G01N27/409 ,  G01N27/26 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

    CPC classification number: G03F7/70933 ,  G01N21/3504 ,  G03F7/70883

    Abstract: 目的在于提供能高精度迅速地计测给定气体中包含的任意物质、并且作业效率良好的计测方法以及计测装置、曝光方法以及曝光装置。曝光装置S具有：能计测吸光物质的计测部M；能向计测部M供给光路空间LS内气体GS的气体供给装置N；能向计测部M供给减少了吸光物质的清净气体GT2的清净气体供给装置H；能交替切换对计测部M的气体GS以及清净气体GT2的供给的切换装置B。在减少了计测部M中的残留吸光物质的状态下，以高精度进行气体GS中包含的吸光物质浓度的计测。

    X线装置、方法、构造物的制造方法
    2.
    发明授权
    X线装置、方法、构造物的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN104040326B

    公开(公告)日：2017-03-01

    申请号：CN201380005382.0

    申请日：2013-01-18

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木贵史

    IPC: G01N23/04

    CPC classification number: G01N23/083 ,  G01N23/087 ,  G01N2223/306 ,  G01N2223/401 ,  G01N2223/402 ,  G01N2223/615 ,  G01N2223/623 ,  G01N2223/645 ,  G05B15/02

    Abstract: 提供一种可抑制与包含多种物质的物体内部有关的检测不良的X线装置、方法、及构造物的制造方法。一种X线装置，对测定物照射X线，而检测透过该测定物的透过X线，具备信息处理部质的比率，而根据借由该检测所获得的第1检测信息生成第2检测信息。该信息处理部是根据该第1物质与该第2物质的比率，并且根据与该X线的照射方向正交的平面的每单位面积中该X线透过该第1物质及该第2物质的比率，而自该第1检测信息生成该第2检测信息。(100)，根据该测定物中所含的第1物质与第2物

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