公开(公告)号：CN105826156B

公开(公告)日：2018-07-06

申请号：CN201511022944.X

申请日：2015-12-30

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 马修·吉尔 ,  斯图尔特·哈利 ,  杰夫·查德伯恩

IPC: H01J49/02 ,  H01J49/42

CPC classification number: H01J49/022

Abstract: 一种控制DC电源的方法，以改变施加到用于操纵带电粒子的部件的DC偏移电压。该方法包括，当AC电压波形正在被施加到部件时：控制DC电源来产生经由链路被施加到所述部件的初始的DC偏移电压，所述链路使得所述部件处的所述DC偏移电压落后于当所述DC电源产生的所述DC偏移电压被改变时的所述DC电源产生的所述DC偏移电压；然后控制所述DC电源产生过驱动DC偏移电压，所述过驱动DC偏移电压经由所述链路被施加到所述部件达预定时段；然后控制所述DC电源产生目标DC偏移电压，所述目标DC偏移电压经由所述链路被施加到所述部件，其中所述目标DC偏移电压在所述初始的DC偏移电压和所述过驱动DC偏移电压之间。

公开(公告)号：CN107810597B

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201680037324.X

申请日：2016-03-24

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 斯蒂芬·道格拉斯·泰勒 ,  马修·吉尔 ,  斯图尔特·哈利 ,  J·汉德福特

IPC: H02M7/537

Abstract: 一种用于在输出节点处生成电压波形的电路。该电路包括：第一电压轨，其保持于第一电压，第一电压轨经由第一电压轨开关连接至输出节点；第二电压轨，其保持于与第一电压不同的第二电压，第二电压轨经由第二电压轨开关连接至输出节点；至少一个锚节点，其经由电感器和锚节点开关连接至输出节点；以及控制单元，其使电路在第一电压输出状态和第二电压输出产生状态之间切换，其中在第一电压输出状态中，第一电压轨开关闭合并且第二电压轨开关打开，使得输出节点被钳位到第一电压，在第二电压输出产生状态中，第二电压轨开关闭合并且第一电压轨开关打开，使得输出节点被钳位到第二电压。控制单元通过以下操作来使电路从第一电压输出状态切换为第二电压输出状态：使第一电压轨开关打开并且使用于经由电感器将输出节点连接至保持于第一锚电压的锚节点的锚节点开关闭合，使得在负载电容连接至输出节点的情况下，在电感器和负载电容之间建立谐振电路，从而使输出节点处的电压向着第二电压摆动，其中第一锚电压提供用于辅助输出节点处的电压向着第二电压摆动的能量，然后使该锚节点开关打开并且使第二电压轨开关闭合。控制单元还通过以下操作来使电路从第二电压输出状态切换为第一电压输出状态：使第二电压轨开关打开并且使用于经由电感器将输出节点连接至保持于第二锚电压的锚节点的锚节点开关闭合，使得在负载电容连接至输出节点的情况下，在电感器和负载电容之间建立谐振电路，从而使输出节点处的电压向着第一电压摆动，其中第二锚电压提供用于辅助输出节点处的电压向着第一电压摆动的能量，然后使该锚节点开关打开并且使第一电压轨开关闭合。

公开(公告)号：CN105826156A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201511022944.X

申请日：2015-12-30

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 马修·吉尔 ,  斯图尔特·哈利 ,  杰夫·查德伯恩

IPC: H01J49/02 ,  H01J49/42

CPC classification number: H01J49/022 ,  H01J49/423

Abstract: 一种控制DC电源的方法，以改变施加到用于操纵带电粒子的部件的DC偏移电压。该方法包括，当AC电压波形正在被施加到部件时：控制DC电源来产生经由链路被施加到所述部件的初始的DC偏移电压，所述链路使得所述部件处的所述DC偏移电压落后于当所述DC电源产生的所述DC偏移电压被改变时的所述DC电源产生的所述DC偏移电压；然后控制所述DC电源产生过驱动DC偏移电压，所述过驱动DC偏移电压经由所述链路被施加到所述部件达预定时段；然后控制所述DC电源产生目标DC偏移电压，所述目标DC偏移电压经由所述链路被施加到所述部件，其中所述目标DC偏移电压在所述初始的DC偏移电压和所述过驱动DC偏移电压之间。