公开(公告)号：CN101643149A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200910161168.X

申请日：2009-08-04

Applicant: 株式会社幸和

Inventor： 山口臣治 ,  属直彦

IPC: B65G49/00 ,  B65G49/06 ,  B65G13/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/677 ,  H01L51/56

Abstract: 一种具有加热功能的输送机，是一边加热工件基板一边将其转移的带有加热功能的输送机，能极为灵活地以低成本对带有加热功能的输送机的纵横尺寸进行变更，以应对工件基板的纵横尺寸的变更，能对转移中的工件基板整体均匀地加热。所述具有加热功能的输送机包括：沿工件基板的移动方向延伸的支撑框架；通过将铝挤压件以期望的长度切断而成的挤压件切块；以及分别配置在所述多个各挤压件切块之间、与所述工件基板的下表面接触而使所述工件基板移动的旋转体，在所述各挤压件切块内部的空洞部内一体形成有沿着与其长度方向平行的方向延伸的、可供棒状加热器插入的一个或多个筒状管。也可对所述筒状管附加供给冷水或制冷剂的结构。

公开(公告)号：CN105047583A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510192055.1

申请日：2015-04-21

Applicant: 株式会社幸和

Inventor： 山口臣治 ,  属直彦 ,  天本圭悟

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67098 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68785

Abstract: 提供一种基板支承装置以及具有该基板支承装置的基板处理装置，能够避免来自支承销的热量持续地集中施加在被处理基板的规定部位，哪怕是较短的时间，并能够防止在进行加热等处理后的基板上产生销痕。基板支承装置及具有该基板支承装置的基板处理装置包括：多个支承销，多个所述支承销固定在加热板上；摆动元件，所述摆动元件在使被处理基板保持下表面与各所述支承销的上端部保持接触的状态下进行二维的摆动；控制元件，所述控制元件将所述摆动元件控制成使所述基板在所述基板的加热等处理中，不会在所述基板的下表面的特定部位与所述各支承销的上端部保持接触的状态下位于固定的位置。

公开(公告)号：CN101643149B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN200910161168.X

申请日：2009-08-04

Applicant: 株式会社幸和

Inventor： 山口臣治 ,  属直彦

IPC: B65G49/00 ,  B65G49/06 ,  B65G13/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/677 ,  H01L51/56

Abstract: 一种具有加热功能的输送机，是一边加热工件基板一边将其转移的带有加热功能的输送机，能极为灵活地以低成本对带有加热功能的输送机的纵横尺寸进行变更，以应对工件基板的纵横尺寸的变更，能对转移中的工件基板整体均匀地加热。所述具有加热功能的输送机包括：沿工件基板的移动方向延伸的支撑框架；通过将铝挤压件以期望的长度切断而成的挤压件切块；以及分别配置在所述多个各挤压件切块之间、与所述工件基板的下表面接触而使所述工件基板移动的旋转体，在所述各挤压件切块内部的空洞部内一体形成有沿着与其长度方向平行的方向延伸的、可供棒状加热器插入的一个或多个筒状管。也可对所述筒状管附加供给冷水或制冷剂的结构。