公开(公告)号：CN105900218A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201480073028.6

申请日：2014-12-22

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 中井仁司

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68742

Abstract: 在基板处理装置(1)中，在腔室底部(256)设置有在周向上排列的多个大腔室排气口(281)。通过杯旋转机构(7)使杯部(4)旋转，杯排气口(461)有选择地与多个大腔室排气口(281)中某一个重叠。在杯排气口(461)与1个大腔室排气口(281)重叠的状态下，通过第一排气机构(95a)将杯部(4)内的气体向腔室(21)外排出。在杯排气口(461)与另一个大腔室排气口(281)重叠的状态下，通过第二排气机构(95b)将杯部(4)内的气体向腔室(21)外排出。在基板处理装置(1)中，通过杯旋转机构(7)使腔室(21)内的杯部(4)旋转，能够容易对从杯部(4)进行排气的排气机构进行切换。

公开(公告)号：CN105900218B

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201480073028.6

申请日：2014-12-22

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 中井仁司

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68742

Abstract: 在基板处理装置(1)中，在腔室底部(256)设置有在周向上排列的多个大腔室排气口(281)。通过杯旋转机构(7)使杯部(4)旋转，杯排气口(461)有选择地与多个大腔室排气口(281)中某一个重叠。在杯排气口(461)与1个大腔室排气口(281)重叠的状态下，通过第一排气机构(95a)将杯部(4)内的气体向腔室(21)外排出。在杯排气口(461)与另一个大腔室排气口(281)重叠的状态下，通过第二排气机构(95b)将杯部(4)内的气体向腔室(21)外排出。在基板处理装置(1)中，通过杯旋转机构(7)使腔室(21)内的杯部(4)旋转，能够容易对从杯部(4)进行排气的排气机构进行切换。