公开(公告)号：CN105911065B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201511010121.5

申请日：2015-12-29

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 井上学

IPC: G01N21/89

Abstract: 本发明提供一种图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置包括孔部信息获取部，获取表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，确定与形成有目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以目视焊盘为起点而延伸的线方向；判别点获取部，将检查图像中，作为目视孔部区域的边缘、且包含于配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自目视孔部区域的中心向线方向延伸的线与目视孔部区域的边缘相交的位置的、对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，检测目视孔部所致的颈部缺陷。藉此，可容易地检测印刷基板的颈部缺陷。

公开(公告)号：CN105911065A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201511010121.5

申请日：2015-12-29

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 井上学

IPC: G01N21/89

CPC classification number: G01N21/89

Abstract: 本发明提供一种图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置包括孔部信息获取部，获取表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，确定与形成有目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以目视焊盘为起点而延伸的线方向；判别点获取部，将检查图像中，作为目视孔部区域的边缘、且包含于配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自目视孔部区域的中心向线方向延伸的线与目视孔部区域的边缘相交的位置的、对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，检测目视孔部所致的颈部缺陷。藉此，可容易地检测印刷基板的颈部缺陷。