公开(公告)号：CN105474356A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201480045393.6

申请日：2014-07-10

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 高木克明 ,  佐野诚一郎 ,  内田雄三 ,  山中智史

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418

CPC classification number: H01L21/67155 ,  G05B15/02 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32078 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742 ,  Y02P90/20

Abstract: 第二基板处理装置的第二控制装置判断基板的处理开始预想时刻是否在处理开始期限以前。如果处理开始预想时刻在处理开始期限以前，则第二控制装置使第二基板处理装置执行起初的第一计划以及第二计划。另一方面，在处理开始预想时刻在处理开始期限之后的情况下，第二控制装置以处理开始预想时刻变为处理开始期限以前的方式变更起初的第一计划以及第二计划，使第二基板处理装置执行变更后的第一计划以及第二计划。

公开(公告)号：CN105474356B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201480045393.6

申请日：2014-07-10

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 高木克明 ,  佐野诚一郎 ,  内田雄三 ,  山中智史

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418

CPC classification number: H01L21/67155 ,  G05B15/02 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32078 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742 ,  Y02P90/20

Abstract: 第二基板处理装置的第二控制装置判断基板的处理开始预想时刻是否在处理开始期限以前。如果处理开始预想时刻在处理开始期限以前，则第二控制装置使第二基板处理装置执行起初的第一计划以及第二计划。另一方面，在处理开始预想时刻在处理开始期限之后的情况下，第二控制装置以处理开始预想时刻变为处理开始期限以前的方式变更起初的第一计划以及第二计划，使第二基板处理装置执行变更后的第一计划以及第二计划。