公开(公告)号：CN106513273A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610411152.X

申请日：2016-06-13

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 时枝大佐 ,  安陪裕滋

IPC: B05D3/02

Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置及减压干燥方法。本发明的减压干燥装置是一边将基板收纳于腔室的内部空间，一边通过经由与腔室连接的排气配管来排出内部空间的环境气体而对内部空间进行减压并且对内部空间进行加热，由此使基板上的涂布膜中所含的溶剂成分气化而使涂布膜干燥，并且包括对排气配管进行加热的配管加热部。本发明能够在短时间内稳定地进行同时进行减压及加热的减压干燥处理。

公开(公告)号：CN106513273B

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201610411152.X

申请日：2016-06-13

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 时枝大佐 ,  安陪裕滋

IPC: B05D3/02

Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置及减压干燥方法。本发明的减压干燥装置是一边将基板收纳于腔室的内部空间，一边通过经由与腔室连接的排气配管来排出内部空间的环境气体而对内部空间进行减压并且对内部空间进行加热，由此使基板上的涂布膜中所含的溶剂成分气化而使涂布膜干燥，并且包括对排气配管进行加热的配管加热部。本发明能够在短时间内稳定地进行同时进行减压及加热的减压干燥处理。