公开(公告)号：CN106548965B

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201610605747.9

申请日：2016-07-28

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 池田文彦

IPC: H01L21/677

Abstract: 本案涉及基板处理装置及基板处理方法。在一面从使基板上浮的上浮平台搬送基板一面对搬送中的基板实施处理的基板处理装置中，通过使基板的排列处理及基板向上浮平台的移载处理合理化而缩短基板处理装置的工作时间。本发明的基板处理装置具备：上浮平台，使基板上浮；搬送机构，从上浮平台接收基板并搬送；处理机构，对通过搬送机构搬送的基板实施处理；及移载机构，将基板移载至上浮平台；且移载机构具备：接纳上浮部，使搬送而来的基板上浮并予以接纳；排列部，使通过接纳上浮部而上浮的基板排列；保持部，保持通过排列部而排列的基板；及驱动部，使保持部移动至上浮平台。

公开(公告)号：CN106548965A

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201610605747.9

申请日：2016-07-28

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 池田文彦

IPC: H01L21/677

Abstract: 本案涉及基板处理装置及基板处理方法。在一面从使基板上浮的上浮平台搬送基板一面对搬送中的基板实施处理的基板处理装置中，通过使基板的排列处理及基板向上浮平台的移载处理合理化而缩短基板处理装置的工作时间。本发明的基板处理装置具备：上浮平台，使基板上浮；搬送机构，从上浮平台接收基板并搬送；处理机构，对通过搬送机构搬送的基板实施处理；及移载机构，将基板移载至上浮平台；且移载机构具备：接纳上浮部，使搬送而来的基板上浮并予以接纳；排列部，使通过接纳上浮部而上浮的基板排列；保持部，保持通过排列部而排列的基板；及驱动部，使保持部移动至上浮平台。