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公开(公告)号:CN101458104A
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200810183726.8
申请日:2008-12-11
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/692
Abstract: 本发明实现一种防止污浊物质在副通路上堆积,可以高精度地测量流体流量的流体流量测量装置。在圆筒棒(3)的表面形成加热图案(34)。向该加热图案(34)通电,产生热量,该热量通过绝缘层传递至副通路(26)。该热量缓缓地传递直至副通路(26)的前端,使附着在副通路(26)内的污浊物质等燃烧消失。因此,可以实现一种防止在副通路(26)上堆积污浊物质,高精度地测量流体流量测量的流体流量测量装置。