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公开(公告)号：CN114312006B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202111090027.0
申请日：2021-09-16
Applicant: 株式会社理光
Inventor： 益田俊显
Abstract: 本发明提供具有良好的介电强度且具有高可靠性的致动器、液体喷射头及液体喷射装置。该致动器包括：基板；形成在所述基板上的振动板(13)；形成在所述振动板上的下部电极(10)；形成在所述下部电极上的PbTiO3层(21)；形成在所述PbTiO3层上的压电体(20)，以及形成在所述压电体上的上部电极(11)，所述压电体由PZT(锆钛酸铅)构成，通过下述测量方法求出的PZT粒子的平均粒径为40nm以上，所述测量方法是，对所述压电体在20μm×20μm的范围内取得EBSD图像，并对图像范围内的所有粒子进行圆拟合，将圆的直径的平均值作为PZT粒子的平均粒径。
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公开(公告)号：CN115923339A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202210882730.3
申请日：2022-07-26
Applicant: 株式会社理光
Abstract: 本发明提供了一种液体喷射头和喷射液体的装置，其能够提高擦拭的清扫效率和降低损伤。包括具有喷射液体的喷嘴(110)的喷嘴部件(101)，喷嘴部件(101)包括具有形成喷嘴(110)的开口(111a)的可变形的薄层部件(111)和配置在开口(111a)周围的压电元件(112)，在压电元件(112)上未施加电压的状态下，喷嘴部件(101)的喷嘴(110)的周边部(130)相对于喷嘴部件(101)的喷射侧平面翘曲。
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公开(公告)号：CN115674907A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210720486.0
申请日：2022-06-23
Applicant: 株式会社理光
Abstract: 本发明提供一种提高可靠性的致动器、液体喷射头、液体喷射单元、喷射液体的装置。致动器(10)包括具有开口(102a)的可变形的薄膜部件(102)，和配置在薄膜部件(102)的一面侧的开口(102a)的周围的压电元件(103)，并设置有覆盖压电元件(103)的绝缘膜(115)，在绝缘膜(115)的表面侧中设置有覆盖包括与压电元件(103)连接的电极布线(116、117)在内的保护膜(119)，并且至少在电极布线(116、117)和保护膜(119)之间夹设密接性改善膜(118)。
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公开(公告)号：CN116829363A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202280008519.7
申请日：2022-01-19
Applicant: 株式会社理光
IPC: B41J2/16
Abstract: 一种液体排出头包括：具有喷嘴的喷嘴层，液体通过所述喷嘴从第二侧向第一侧排出；液室基板；以及驱动电路。所述喷嘴层包括：振动层；压电致动器，邻近所述喷嘴，并设于所述第一侧上；电路连接部，设于所述第一侧上；第一保护层，围绕所述电路连接部；第二保护层，形成在所述压电致动器上；第一耐水膜，形成在所述第一保护层上；和第二耐水膜，形成在所述第二保护层上。所述第二保护层与所述第一保护层分离。所述第一保护层在所述电路连接部上方限定开口。所述液室基板具有与所述喷嘴连通的液室。所述驱动电路设于所述第二侧上，连接到所述电路连接部，配置为驱动所述压电致动器。
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公开(公告)号：CN114312006A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111090027.0
申请日：2021-09-16
Applicant: 株式会社理光
Inventor： 益田俊显
Abstract: 本发明提供具有良好的介电强度且具有高可靠性的致动器、液体喷射头及液体喷射装置。该致动器包括：基板；形成在所述基板上的振动板(13)；形成在所述振动板上的下部电极(10)；形成在所述下部电极上的PbTiO3层(21)；形成在所述PbTiO3层上的压电体(20)，以及形成在所述压电体上的上部电极(11)，所述压电体由PZT(锆钛酸铅)构成，通过下述测量方法求出的PZT粒子的平均粒径为40nm以上，所述测量方法是，对所述压电体在20μm×20μm的范围内取得EBSD图像，并对图像范围内的所有粒子进行圆拟合，将圆的直径的平均值作为PZT粒子的平均粒径。
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