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公开(公告)号：CN117222301A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310646405.1
申请日：2023-06-02
IPC: H10N30/50 , H10N30/853 , H10N30/00 , H10N30/05
Abstract: 本发明提供一种压电膜层叠体，其具备SiN膜(14)和ScAlN膜(15)。SiN膜(14)具有衬底表面(14a)。ScAlN膜(15)与衬底表面(14a)相接地配置。衬底表面(14a)的表面粗糙度按算术平均粗糙度的值计为0.5nm以下。
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