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公开(公告)号:CN101096747A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200710126306.1
申请日:2007-06-29
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor: 山本兼司 , 格尔曼·福克斯-拉比诺维奇
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/0021 , C23C14/0664 , C23C14/0676 , C23C14/325 , C23C30/005 , Y10T428/2495 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
Abstract: 本发明公开的是一种硬质膜和用于制备所述硬质膜的方法,其中所述硬质膜在耐磨性方面是显著优异的,并且即使在由于摩擦生热趋向于出现剧烈发热的环境下,也具有优异的抗氧化性,因此与包括TiAlN、TiCrAlN、TiCrAlSiBN、CrAlSiBN或NbCrAlSiBN的普通硬质膜相比,具有优异的性能。所述硬质膜包含(M)aCrbAlcSidBeYfZ(而M是选自周期表中的IVB族元素、VB族元素和VIB族元素(除Cr以外)中的至少一种元素,并且Z表示N、CN、NO和CNO中的一种),其中a+b+c+d+e+f=1,并且0<a≤0.3,0.05≤b≤0.4,0.4≤c≤0.8,0≤d≤0.2,0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1(a、b、c、d、e和f分别表示M、Cr、Al、Si、B和Y的原子比)。
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公开(公告)号:CN100558928C
公开(公告)日:2009-11-11
申请号:CN200710126306.1
申请日:2007-06-29
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor: 山本兼司 , 格尔曼·福克斯-拉比诺维奇
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/0021 , C23C14/0664 , C23C14/0676 , C23C14/325 , C23C30/005 , Y10T428/2495 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
Abstract: 本发明公开的是一种硬质膜和用于制备所述硬质膜的方法,其中所述硬质膜在耐磨性方面是显著优异的,并且即使在由于摩擦生热趋向于出现剧烈发热的环境下,也具有优异的抗氧化性,因此与包括TiAlN、TiCrAlN、TiCrAlSiBN、CrAlSiBN或NbCrAlSiBN的普通硬质膜相比,具有优异的性能。所述硬质膜包含(M)aCrbAlcSidBeYfZ(而M是选自周期表中的IVB族元素、VB族元素和VIB族元素(除Cr以外)中的至少一种元素,并且Z表示N、CN、NO和CNO中的一种),其中a+b+c+d+e+f=1,并且0<a≤0.3,0.05≤b≤0.4,0.4≤c≤0.8,0≤d≤0.2,0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1(a、b、c、d、e和f分别表示M、Cr、Al、Si、B和Y的原子比)。
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