公开(公告)号：CN112630233B

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202011002389.5

申请日：2020-09-22

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 梅田秀俊 ,  高松弘行 ,  冈田拓郎 ,  鹤见敏彦

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/94

Abstract: 本发明提供能够在短时间内高效地检查铝基板的表面，从而检测微小的缺陷，并且能够辨别该缺陷是表面缺陷还是附着于表面的尘埃的基板表面缺陷检查方法。该基板表面缺陷检查方法包括：第一检查工序，在该第一检查工序中，使用拍摄铝基板(20)的整个面而得到的图像，对包含30μm以上的大小的缺陷的缺陷区域(21)进行提取；以及第二检查工序，在该第二检查工序中，基于由第一检查工序提取出的缺陷区域(21)的图像，辨别缺陷是表面缺陷还是附着于表面的尘埃。

公开(公告)号：CN112630233A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202011002389.5

申请日：2020-09-22

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 梅田秀俊 ,  高松弘行 ,  冈田拓郎 ,  鹤见敏彦

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/94

Abstract: 本发明提供能够在短时间内高效地检查铝基板的表面，从而检测微小的缺陷，并且能够辨别该缺陷是表面缺陷还是附着于表面的尘埃的基板表面缺陷检查方法。该基板表面缺陷检查方法包括：第一检查工序，在该第一检查工序中，使用拍摄铝基板(20)的整个面而得到的图像，对包含30μm以上的大小的缺陷的缺陷区域(21)进行提取；以及第二检查工序，在该第二检查工序中，基于由第一检查工序提取出的缺陷区域(21)的图像，辨别缺陷是表面缺陷还是附着于表面的尘埃。

公开(公告)号：CN118190803A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202311713197.9

申请日：2023-12-12

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社锭子技术

Inventor： 斋藤孝充 ,  鹤见敏彦 ,  仲主喜代志 ,  菊池彻

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/892

Abstract: 本发明目的在于提供能够不设置事先的准备工序或者在检查中停止搬运机构而连续地进行检查、且能够无需多个光源、修正处理地准确地检测从轧制了的金属板冲裁出的圆环状基板的缺陷的圆环状基板的检查装置以及检查方法。圆环状基板的检查装置具备：调整部，其检测被搬运的圆环状基板的轧制痕或磨削痕，并且以使检测出的轧制痕或磨削痕与一定方向一致的方式调整圆环状基板的轧制痕或磨削痕；以及第一缺陷检查部，其具有搬运轧制痕或磨削痕与一定方向一致了的圆环状基板的检查输送机、对圆环状基板从上方照射光的第一照明装置以及拍摄圆环状基板的光照射面的第一线阵相机，并使用由第一线阵相机拍摄到的光照射面的图像来检查圆环状基板的表面的缺陷。