-
公开(公告)号:CN106716058B
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201580049986.4
申请日:2015-07-31
Abstract: 本发明所涉及的形状测定装置以及形状测定方法分别测定第一距离测定部及第二距离测定部在相向方向上的第一位移及第二位移,基于所述第一距离测定部及第二距离测定部分别测定出的第一距离测定结果及第二距离测定结果,求出用所述测定出的第一位移及第二位移修正过的被测定物沿所述相向方向的厚度来作为被测定物的形状,其中,所述第一距离测定部及第二距离测定部隔着测定对象的所述被测定物互相相向地被配置,分别测定至所述被测定物为止的距离。
-
公开(公告)号:CN106716058A
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201580049986.4
申请日:2015-07-31
Abstract: 本发明所涉及的形状测定装置以及形状测定方法分别测定第一距离测定部及第二距离测定部在相向方向上的第一位移及第二位移,基于所述第一距离测定部及第二距离测定部分别测定出的第一距离测定结果及第二距离测定结果,求出用所述测定出的第一位移及第二位移修正过的被测定物沿所述相向方向的厚度来作为被测定物的形状,其中,所述第一距离测定部及第二距离测定部隔着测定对象的所述被测定物互相相向地被配置,分别测定至所述被测定物为止的距离。
-