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公开(公告)号:CN118462579A
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202410156189.7
申请日:2024-02-04
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种粉体难以夹在罗茨转子间,能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵及决定罗茨转子的形状的方法。第一罗茨转子(8)及第二罗茨转子(9)分别具有:具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)、与渐开线侧面(31)的外侧端部连接的圆弧凸面(34)、以及与渐开线侧面(31)的内侧端部连接的圆弧凹面(36),圆弧凸面(34)的曲率半径(R1)比圆弧凹面(36)的曲率半径(R2)小。
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公开(公告)号:CN118462578A
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202410156186.3
申请日:2024-02-04
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种粉体难以夹在罗茨转子间,能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵。第一罗茨转子(8C)及第二罗茨转子(9C)分别具有:具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)、与渐开线侧面(31)的外侧端部连接的圆弧凸面(34)、以及与渐开线侧面(31)的内侧端部连接的圆弧凹面(36),圆弧凸面(34)的曲率半径比圆弧凹面(36)的曲率半径大。
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