-
公开(公告)号：CN107429914A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580077529.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及对从制造半导体器件、液晶、LED等的制造装置等排出的废气进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置。废气处理装置是对处理气体进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置，对处理气体进行燃烧的圆筒状的燃烧室(1)具备将燃料、助燃性气体和处理气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)，燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
-
公开(公告)号：CN104214101A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410234030.9
申请日：2014-05-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/74 , B01D53/005 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , Y10T137/85978
Abstract: 本发明提供带除害功能的真空泵，不需要为了将废气处理至容许浓度以下而进行除害部的定制(根据规格改变)，能够大幅缩短设计时间、验证时间，能够削减交货期，而且，与安全容许浓度相符地提供最低限度的规格，由此能够以最小限度的初始成本、使用成本来提供带除害功能的真空泵。在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理使之无害化的除害部(10)，在该真空泵(1)中，准备多个类型的、废气的处理形式以及/或者废气的处理量不同的除害部，并根据从真空泵(1)排出的废气的气体量以及气体种类而从多个类型的除害部(10)中选定1台或者多台除害部(10)，将所选定的除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107429914B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201580077529.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及对从制造半导体器件、液晶、LED等的制造装置等排出的废气进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置。废气处理装置是对处理气体进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置，对处理气体进行燃烧的圆筒状的燃烧室(1)具备将燃料、助燃性气体和处理气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)，燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
-
公开(公告)号：CN104074766A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410116543.X
申请日：2014-03-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
Abstract: 本发明提供带有除害功能的真空泵，通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧，能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵（1），在真空泵（1）的排气口上附设有对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使其无害化的除害部（10），除害部（10）在筒状体（11）的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，在筒状体（11）的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴（16），在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴（15），多个空气喷嘴（15）沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
-
公开(公告)号：CN104074766B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201410116543.X
申请日：2014-03-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
Abstract: 本发明提供带有除害功能的真空泵，通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧，能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵（1），在真空泵（1）的排气口上附设有对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使其无害化的除害部（10），除害部（10）在筒状体（11）的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，在筒状体（11）的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴（16），在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴（15），多个空气喷嘴（15）沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
-
公开(公告)号：CN104074717B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201410118130.5
申请日：2014-03-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
Abstract: 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。
-
公开(公告)号：CN104074717A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410118130.5
申请日：2014-03-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
Abstract: 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.02 seconds)
