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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101417205B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200810176742.4
申请日：2002-11-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J15/08 , B01D53/1456 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/70 , B01D53/864 , B01D53/8659 , F23G7/063 , F23J15/006 , F23J2215/301 , F23J2215/40 , F23J2219/10 , F23J2219/30 , F23J2219/40 , F23J2219/60 , Y02A50/2341
Abstract: 一种处理废气的装置，其具有预处理部分，用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个，所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个；加热氧化分解部分，用于进行所述氟化合物和CO中的至少一个的加热氧化分解，以净化所述废气。该装置具有后处理部分，用于后处理由加热氧化分解所产生的酸性气体如HF。本发明还涉及一种处理废气的方法，该废气含有氟化合物和CO中的至少一个，该方法包括：从所述废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个；将O2和H2O加入所述废气中；加热所述废气，以分解或氧化废气中的氟化合物和CO中的至少一个；以及从已分解或氧化的废气中除去在氟化合物分解时产生的酸性气体。
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公开(公告)号：CN104179688A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410217789.6
申请日：2014-05-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/70 , B01D53/0438 , B01D53/685 , B01D53/74 , B01D53/8659 , B01D53/8662 , B01D53/92 , B01D2251/30 , B01D2252/103 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/1124 , B01D2253/206 , B01D2255/10 , B01D2257/2025 , B01D2257/204 , B01D2257/2042 , B01D2257/2045 , B01D2257/553 , B01D2257/556 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , F04B37/06 , F04B37/14
Abstract: 本发明以低成本且迅速地提供一种带有除害功能的真空泵，其在真空泵的后级附设有小型且可拆卸的除害部，通过变更所附设的除害部的种类、个数、排列的组合，从而可符合所要求的除害性能。该带有除害功能的真空泵(1)，在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而无害化的除害部(10)，废气的处理形式及/或废气的处理量及/或废气的处理性能不相同的多个除害部(10)中至少一个除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
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公开(公告)号：CN101417205A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200810176742.4
申请日：2002-11-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J15/08 , B01D53/1456 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/70 , B01D53/864 , B01D53/8659 , F23G7/063 , F23J15/006 , F23J2215/301 , F23J2215/40 , F23J2219/10 , F23J2219/30 , F23J2219/40 , F23J2219/60 , Y02A50/2341
Abstract: 一种处理废气的装置，其具有预处理部分，用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个，所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个；加热氧化分解部分，用于进行所述氟化合物和CO中的至少一个的加热氧化分解，以净化所述废气。该装置具有后处理部分，用于后处理由加热氧化分解所产生的酸性气体如HF。本发明还涉及一种处理废气的方法，该废气含有氟化合物和CO中的至少一个，该方法包括：从所述废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个；将O2和H2O加入所述废气中；加热所述废气，以分解或氧化废气中的氟化合物和CO中的至少一个；以及从已分解或氧化的废气中除去在氟化合物分解时产生的酸性气体。
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公开(公告)号：CN100488598C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN02814181.4
申请日：2002-11-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J15/08 , B01D53/1456 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/70 , B01D53/864 , B01D53/8659 , F23G7/063 , F23J15/006 , F23J2215/301 , F23J2215/40 , F23J2219/10 , F23J2219/30 , F23J2219/40 , F23J2219/60 , Y02A50/2341
Abstract: 一种处理废气的装置，它具有一个预处理部分(1)，用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个，所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个；一个加热氧化分解部分(2)，用于进行所述氟化合物和CO中的至少一个的加热氧化分解，以净化所述废气。该装置具有一个后处理部分(4)，用于后处理由加热氧化分解所产生的酸性气体如HF。
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公开(公告)号：CN1863585A
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN02814181.4
申请日：2002-11-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J15/08 , B01D53/1456 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/70 , B01D53/864 , B01D53/8659 , F23G7/063 , F23J15/006 , F23J2215/301 , F23J2215/40 , F23J2219/10 , F23J2219/30 , F23J2219/40 , F23J2219/60 , Y02A50/2341
Abstract: 一种处理废气的装置，它具有一个预处理部分(1)，用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个，所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个；一个加热氧化分解部分(2)，用于进行所述氟化合物和CO中的至少一个的加热氧化分解，以净化所述废气。该装置具有一个后处理部分(4)，用于后处理由加热氧化分解所产生的酸性气体如HF。
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