测定装置以及测定方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113873934B

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202080036951.8

    申请日:2020-05-19

    Abstract: 测定装置包括:触头(140),其用于与测定对象接触;传感器(150),其设置于上述触头(140),用于对上述测定对象的至少表面状态进行测定;驱动部(170),其用于使上述触头(140)和上述传感器(150)相对于上述测定对象位移;以及振动隔离部件,其设于上述驱动部(170)与上述触头(140)和上述传感器(150)之间,用于隔离自上述驱动部(170)向上述触头(140)和上述传感器(150)的振动,该测定装置基于上述传感器(150)的测定值对表面状态进行测定。

    测定装置以及测定方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113873934A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202080036951.8

    申请日:2020-05-19

    Abstract: 测定装置包括:触头(140),其用于与测定对象接触;传感器(150),其设置于上述触头(140),用于对上述测定对象的至少表面状态进行测定;驱动部(170),其用于使上述触头(140)和上述传感器(150)相对于上述测定对象位移;以及振动隔离部件,其设于上述驱动部(170)与上述触头(140)和上述传感器(150)之间,用于隔离自上述驱动部(170)向上述触头(140)和上述传感器(150)的振动,该测定装置基于上述传感器(150)的测定值对表面状态进行测定。

Patent Agency Ranking