公开(公告)号：CN104833313A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201410388344.4

申请日：2014-08-08

Applicant: 株式会社路开欧

Inventor： 坂下隆一 ,  本田梅彦 ,  高田朋海 ,  余治雄

IPC: G01B11/16 ,  G01N21/23

CPC classification number: G01B11/168 ,  G01L1/24 ,  G01L5/0047 ,  G01N21/21 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8887

Abstract: 本发明提供一种具备用于使相当于检偏器的偏光板旋转的驱动机构，并且检查者不用手动使其旋转就能进行检查的形变检查器。形变检查器（100）具备：摄影机（140）、第二偏光板（141）、1/4波长板（142）、第一偏光板（143）、漫射板（144）、光源（145）、用于使第二偏光板以任意的角度阶梯地旋转的驱动机构。摄影机（140）、第二偏光板（141）、1/4波长板（142）、第一偏光板（143）、漫射板（144）以及光源（145）被配设于相同的轴（检查轴）上，通过驱动机构使相当于检偏器的第二偏光板（141）自动地旋转，来测定相位差、光轴方位。