公开(公告)号：CN103460137A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280016296.5

申请日：2012-03-29

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 藤森昭芳 ,  金井信夫 ,  藤原和正 ,  上条圭 ,  南云阳佑

IPC: G03F7/20 ,  G01J1/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70558 ,  G01J1/0219 ,  G01J1/0233 ,  G01J1/0488 ,  H01J61/822 ,  H01J61/86 ,  H05B41/38

Abstract: 曝光装置具备：放电灯，其放射包括g线（436nm）、h线（405nm）、i线（365nm）的亮线的光；光测量单元，其具有受光部，对从放电灯放射的光进行测量；以及照明调整单元，其根据光测量单元中的测量值，调整向放电灯供给的功率。并且，光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。

公开(公告)号：CN103460137B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201280016296.5

申请日：2012-03-29

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 藤森昭芳 ,  金井信夫 ,  藤原和正 ,  上条圭 ,  南云阳佑

IPC: G03F7/20 ,  G01J1/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70558 ,  G01J1/0219 ,  G01J1/0233 ,  G01J1/0488 ,  H01J61/822 ,  H01J61/86 ,  H05B41/38

Abstract: 曝光装置具备：放电灯，其放射包括g线（436nm）、h线（405nm）、i线（365nm）的亮线的光；光测量单元，其具有受光部，对从放电灯放射的光进行测量；以及照明调整单元，其根据光测量单元中的测量值，调整向放电灯供给的功率。并且，光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。