基板检查系统
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102608114B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201110342992.2

    申请日:2011-10-25

    Abstract: 本发明提供基板检查系统,针对每个检查对象基板的部件及针对每个需要实施的检查项目选择检查的单元,基于选择结果在各检查机中生成检查信息。部件确定处理部根据处理对象基板的设计信息确定各部件位置及部件种类。检查项目识别部参照部件种类表对确定的部件识别需要的检查项目,检查单元选择部参照检查机能力表选择对各检查项目实施检查的检查单元。通过这些处理生成检查菜单信息,检查菜单信息指,针对每个部件,将表示对部件实施的检查项目和检查单元的信息与部件的部件种类及位置信息建立关联的信息。各检查机输入检查菜单信息,识别定义为由自身装置实施检查的部件,并根据该部件种类将检查程序与部件的位置信息建立关联,以生成检查信息。

    基板检查系统
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102608114A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201110342992.2

    申请日:2011-10-25

    Abstract: 本发明提供基板检查系统,针对每个检查对象基板的部件及针对每个需要实施的检查项目选择检查的单元,基于选择结果在各检查机中生成检查信息。部件确定处理部根据处理对象基板的设计信息确定各部件位置及部件种类。检查项目识别部参照部件种类表对确定的部件识别需要的检查项目,检查单元选择部参照检查机能力表选择对各检查项目实施检查的检查单元。通过这些处理生成检查菜单信息,检查菜单信息指,针对每个部件,将表示对部件实施的检查项目和检查单元的信息与部件的部件种类及位置信息建立关联的信息。各检查机输入检查菜单信息,识别定义为由自身装置实施检查的部件,并根据该部件种类将检查程序与部件的位置信息建立关联,以生成检查信息。

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