表面电位传感器以及复印机

    公开(公告)号:CN103907029A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201280051964.8

    申请日:2012-03-14

    Inventor: 松下壮一

    Abstract: 一种表面电位传感器,在半导体基板的膜片(25)的上表面设置由金属膜(26)和驻极体膜(27)构成的驻极体电极(28)。在膜片(25)上形成有四个压电电阻(29a、29b、29c、29d),利用这些压电电阻组成桥式电路,来构成应变量检测部(32)。作用在对象物体与驻极体电极(28)之间的静电力根据对象物体的电位发生变化,与此相对应地驻极体电极(28)产生挠曲,因此,能够通过利用应变量检测部(32)测量驻极体电极(28)的应变量来掌握对象物体的电位。由此,能够做成小型,高灵敏度,且不仅能够检测对象物体的电位,还能够检测极性。

    表面电位传感器以及复印机

    公开(公告)号:CN103907029B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201280051964.8

    申请日:2012-03-14

    Inventor: 松下壮一

    Abstract: 一种表面电位传感器,在半导体基板的膜片(25)的上表面设置由金属膜(26)和驻极体膜(27)构成的驻极体电极(28)。在膜片(25)上形成有四个压电电阻(29a、29b、29c、29d),利用这些压电电阻组成桥式电路,来构成应变量检测部(32)。作用在对象物体与驻极体电极(28)之间的静电力根据对象物体的电位发生变化,与此相对应地驻极体电极(28)产生挠曲,因此,能够通过利用应变量检测部(32)测量驻极体电极(28)的应变量来掌握对象物体的电位。由此,能够做成小型,高灵敏度,且不仅能够检测对象物体的电位,还能够检测极性。

Patent Agency Ranking