一种面扫型瞬态光电检测系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118091291A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410252780.2

    申请日:2024-03-06

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了一种面扫型瞬态光电检测系统,涉及光电检测领域,包括:用于产生入射至待测光电器件待测面的检测光束光学单元,用于采集待测光电器件的光电信号的信号采集单元以及控制单元。对待测光电器件进行检测时,控制单元控制光学单元与待测光电器件进行相对运动,利用光学单元所产生的检测光束对待测光电器件进行面扫描;在扫描过程中,所述控制单元记录检测光束入射至待测光电器件待测面的位置信息;基于检测光束入射至待测光电器件待测面的位置信息,以及与所述位置信息对应的光电信号,同时表征待测光电器件的瞬态光电性能以及空间光电性能,提高了空间异质性光电器件的测试的客观性和准确性。

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