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公开(公告)号：CN120018747A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510190838.X
申请日：2025-02-20
Applicant: 江苏大学
Abstract: 一种热循环钙钛矿薄膜制备用烘干退火装置及制备方法，涉及退火工艺技术领域。箱体内部前方设置多个退火腔室，退火腔室前方开设窗口并设置前置盖板，箱体内部后方的顶端和中间位置分别设置进气通道和排气通道，与各退火腔室分别开设进气孔和排气孔，通过连接外部气体加热循环设备实现惰性气体的通入和排出，箱体内部后方的底端设置放置腔并存放有机溶剂挥发盒，放置腔后方开设窗口并设置后置盖板，放置腔与各退火腔室分别开设溶剂气氛通道。采用自上而下的热循环退火方法，利用高温惰性气体烘干的方式制备钙钛矿薄膜，能够改善钙钛矿成膜质量，并且可同时对一批次的多个钙钛矿薄膜样品进行退火任务。
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