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公开(公告)号：CN116624598A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310710552.0
申请日：2023-06-15
Applicant: 帝京半导体科技(苏州)有限公司 , 江苏大学
IPC: F16K1/20 , F16K31/122 , F16K31/52 , F16K31/56
Abstract: 本发明涉及一种阀体结构，具体指一种利用气缸带动连杆机构驱动翻板翻转来实现开口的闭合和打开。本发明的翻板输气阀，由主体模块、动力模块、翻转模块和自紧模块组成，主要包括：腔室，其两侧具有开口，用来输送反应气体；端盖，其表面设有三个开孔，使得气缸位移杆与腔室内连杆组连接；翻板，用来进行开合输气；气缸组，提供翻转动力，采用角度块连接气缸与端盖，可调整气缸与端盖上表面间的角度。本发明将结构模块化，方便检修，且翻板安装于腔室内侧，降低了结构件的损耗并提升了传动的稳定性，还具有限位自紧装置及角度调整装置，提高了真空度和开合速度，可应用于半导体气体反应腔中的控制阀门。
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公开(公告)号：CN113121227B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202110249571.9
申请日：2021-03-08
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及一种钆镍共掺杂镁基六铝酸镧陶瓷的制备方法，属于无机非金属材料制备及应用领域。本发明由Gd对La位、Ni对Mg位同时掺杂得到，按照化学式La1‑xGdxMg1‑xNixAl11O19进行配料，其中0.1≤X≤0.5；先是配置混合金属盐溶液，再加入络合剂、分散剂，然后经过络合、酯化反应、干燥得到前驱体粉末，再在1000～1200℃下煅烧3～6h，得到原始粉体，将原始粉体压制成型，于1400～1600℃下烧结成块，得到钆镍共掺杂镁基六铝酸镧陶瓷。本发明制备工艺简单，陶瓷块材形貌规整，热物理性能良好，可以作为航空航天发动机热障涂层的备选材料。
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公开(公告)号：CN111850454B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202010752253.X
申请日：2020-07-30
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及热障涂层表面腐蚀与防护技术领域，具体为一种抗CMAS侵蚀的热障涂层及制备方法。本发明的技术方案是通过预制的CMAS悬浮液均匀涂敷在热障涂层表面，然后在高温炉下烧结一段时间，在表面形成致密的磷灰石相阻挡层。该层具有高熔点、致密度高、相稳定性好，结合力强的特点，不仅可以填补陶瓷层表面的喷涂过程中不可避免地孔洞与裂纹，还可以封堵陶瓷层内部CMAS扩散通道，有效提高热障涂层的抗CMAS侵蚀能力。
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公开(公告)号：CN115233144A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210906220.5
申请日：2022-07-29
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及超精密加工领域，具体地是指一种喷涂态陶瓷涂层用机械激光交互式抛光强化方法。其步骤是：先将原始陶瓷涂层使用机械抛光手段，去除表面肉眼可见的凹坑和凸起，由于陶瓷涂层较高的孔隙率和板层易剥落特性，使用纳秒脉冲激光器，对机械抛光后形成的凹坑及未熔颗粒进行重熔消除。再进行一次机械抛光，去除凸起的重熔层部分和等离子体爆炸造成的飞溅，通过重复机械激光交互式抛光方式，在不断降低陶瓷层表面粗糙度的同时，形成均匀致密重熔层，提升涂层表面强度。本发明可应用在喷涂陶瓷涂层表面的抛光及强化处理。
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公开(公告)号：CN111331135B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202010082699.6
申请日：2020-02-07
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及激光选区熔化技术领域，具体涉及一种用于激光选区熔化混合粉末的装置及方法。本发明方法是将钛合金粉末，纯铜粉末放入粉末储存腔中，通过输气阀将储气瓶中的气体输入至粉末储存腔中，通过控制中心调节电磁盘加热功能来调节工作腔内的环境温度，然后再调节电磁盘旋转搅拌功能使得电磁盘高速旋转，从而使得多种合金粉末与氢气充分混合。再调节其加热功能来对混合粉末进行固溶时效处理，然后冷却至室温。混合粉末拥有超塑性变形特性，其晶粒发生细化且柱状晶被消除，再在伸缩杆与刮板的作用下将粉末移至零件成型室的工作台上打印成型。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113173787A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110249592.0
申请日：2021-03-08
Applicant: 江苏大学
IPC: C04B35/50 , C04B35/622 , C04B35/626
Abstract: 本发明属于无机非高温复合陶瓷材料技术领域，具体涉及一种锆酸钆/钽酸钆复合陶瓷及其制备方法。陶瓷所用原料为氧化钆、氧化锆和氧化钽，分别制备复合原材料锆酸钆和钽酸钆，按比例称量原料，将配好的原料在无水乙醇中混合后置于行星式球磨机中球磨，使其能够混合均匀，将混合后的粉末干燥后进行烧结；冷却取出烧结后的锆酸钆和钽酸钆样品进行研磨、按复合比例称量、球磨、干燥，将干燥后的粉末置于模具内压实，然后进行烧结。本发明工艺纯度高，杂质含量低，产品制备成本低，适合批量生产，目的产品具有良好的热物理性能，有望作为新型耐高温，抗氧化，抗腐蚀抗陶瓷材料。
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公开(公告)号：CN111235508B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202010078002.8
申请日：2020-02-02
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明属于钛合金材料处理领域，特指一种超低温下置氢辅助激光冲击强化化钛合金组织的装置及方法。本发明利用激光冲击所产生的超高应变率来促进钛合金内部微观结构的细化。将氢的气态形式和液态形式充分利用，提高了氢的利用效率。利用钛合金具有在超低温的环境中也能保持一定的优良性能的特点，以超低温‑253℃作为激光冲击强化的环境温度，进一步的提升了钛合金在超低温下的强韧性特征。
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公开(公告)号：CN111850454A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010752253.X
申请日：2020-07-30
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及热障涂层表面腐蚀与防护技术领域，具体为一种抗CMAS侵蚀的热障涂层及制备方法。本发明的技术方案是通过预制的CMAS悬浮液均匀涂敷在热障涂层表面，然后在高温炉下烧结一段时间，在表面形成致密的磷灰石相阻挡层。该层具有高熔点、致密度高、相稳定性好，结合力强的特点，不仅可以填补陶瓷层表面的喷涂过程中不可避免地孔洞与裂纹，还可以封堵陶瓷层内部CMAS扩散通道，有效提高热障涂层的抗CMAS侵蚀能力。
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公开(公告)号：CN111644719A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010316820.7
申请日：2020-04-21
Applicant: 托伦斯半导体设备启东有限公司 , 江苏大学
Abstract: 本发明公开了一种冷却板的钎焊结构及其制造工艺，包括基板、钎焊料和盖板。基板开设有外围方形凸台、冷却槽和梯形凸台；盖板开设有外围方形凹槽和内部方形凹槽；外围方形凸台被钎焊表面包围；梯形凸台底部的宽度b1比内部方形凹槽的宽度b2小0.05~0.1mm，梯形凸台侧面与竖直面的角度θ为10~15°；基板的外围方形凸台插入到盖板的外围方形凹槽内；基板的梯形凸台插入到盖板的内部方形凹槽内。在基板和盖板表面生成耐腐蚀耐高温的涂层；然后采用脉冲激光清洗所有与钎焊料接触的表面，以提高焊接质量；最后进行真空钎焊。本发明可以大幅度延长冷却板的使用寿命，防止制造过程中的冷却槽堵塞，提高冷却效果。可应用于功率半导体的冷却。
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公开(公告)号：CN111300031A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201911023160.7
申请日：2019-10-25
Applicant: 托伦斯半导体设备启东有限公司 , 江苏大学
Abstract: 本发明公开了一种阳极封孔堵头其密封方法，具体为一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封垫和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本发明大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。
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