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公开(公告)号：CN112599457B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110223908.9
申请日：2021-03-01
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种用于集成电路生产的硅片清洗装置，包括存放组件和连接组件，其中存放组件包括侧围栏和把手，所述把手设置于所述侧围栏顶部两端，所述侧围栏由多个平行设置的圆管环、竖直设置连接各圆管环的第一竖杆、与最底侧圆管环连接的底网和设置于所述底网上的放置板组成；连接组件包括第一抱合件和第二抱合件，所述第一抱合件和第二抱合件相互卡合，连接把手和扩展握把；本发明便于将硅片放置在药液槽中，且可存放数量多，便于拿取。
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公开(公告)号：CN110497086A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910656148.3
申请日：2019-07-19
Applicant: 江苏大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种基于激光放电改善制孔质量的激光打孔装置及方法，涉及激光打孔领域，三台激光器分别发射不同波长的激光，经过半透镜组合的光路形成一束复色光。复色光在光泵和单向透光镜以及部分反射镜组合产生的光谐振腔中来回振荡从而发生受激辐射，经聚焦透镜后产生间距极小的三个焦点。旋转工作台带动工件旋转配合三个焦点进行激光加工；利用反射镜和半透镜组合设计了第二条条光路，第二条光路同样含有三个不同波长的激光。通过光学测距仪测得的竖直孔深以及孔距工件各边的距离，可以在空间上打出任意角度的相交孔。激光在工件和电极板之间的静电场产生空气放电。通过上述技术，可以快速精确的加工空间相交孔，提高效率并改善制孔质量。
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公开(公告)号：CN110280916A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910462708.1
申请日：2019-05-30
Applicant: 江苏大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种利用等离子体制备沙漏形孔的双脉冲激光打孔装置及方法，涉及激光打孔领域，激光器A、激光器B发出的激光束经分束器分束后聚焦透镜聚焦后辐照在工件上，工件正下方设置有酚醛塑料制备的基板；工件设置在工作台上，调整工件的位置使得工件要要加工的孔的位置置于激光束的正下方，并在工件下方设置酚醛塑料制备的基板；开始双脉冲激光打孔，使用两个激光器，并确保两个激光器发出的激光束的相位不同，激光器发出的激光经分束器分束后再经聚焦透镜聚焦后辐照在工件上；双脉冲激光作用工件上的孔，穿过孔的激光束遇到酚醛塑料制备的基板后形成等离子体，等离子体与孔的出口发生作用，改变孔出口附近的孔径，完成沙漏形孔的制备。
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公开(公告)号：CN110280856A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910378387.7
申请日：2019-05-08
Applicant: 江苏大学
IPC: B23H5/00 , B23K26/382
Abstract: 本发明公开了一种利用超声振透镜的激光-电化学复合打孔装置及方法，该装置包括计算机、激光器控制器、直流电源、毫秒脉冲激光器、CCD相机、反射平面镜、基于超声振透镜的喷射装置、电解装置、可移动工作台、工作箱体、夹具和工作台控制器。同时提供了采用上述装置的一种利用超声振透镜的激光-电化学复合打孔方法，其主要方法是激光与电解液同轴以一定的速度从基于超声振透镜的喷射装置中射出，形成电解液激光耦合射流作用到工件上，可以在加工过程中消除重铸层、残余应力、微裂纹，通过加入超声振透镜可以使工件上打孔的精度(尺寸精度和几何形状精度)、锥度和稳定性得到改善。
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公开(公告)号：CN109702326A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910040482.6
申请日：2019-01-16
Applicant: 江苏大学
IPC: B23K26/064 , B23K26/382 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种提高激光打孔深度的装置及其方法，包括加工平台、夹具、工件、双聚焦透镜、声光可变焦透镜、分色镜、扩束器、激光器、激光控制器、声光可变焦透镜控制器、计算机、加工平台控制器和CCD相机。本发明采用双焦聚焦镜对光束进行聚焦，使聚焦光束获得两个焦点，并借助声光可变焦透镜连续快速变焦能力实现两个焦点在垂直方向上的快速往复移动。本发明可以明显增加激光微孔加工深度，增加深度在毫米量级，并可将更厚的材料打通。此外，本发明可以避免能量过度集中对微孔质量的影响，减小热影响，提高打孔质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109079347A
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201810987816.6
申请日：2018-08-28
Applicant: 江苏大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种基于真空环境改善制孔质量的激光打孔装置及方法，涉及激光打孔领域，包括电源及控制器、x-y移动平台、真空舱外接辅助平台、支撑底座、真空舱、高强度高透玻璃、激光头、CCD摄像机、激光器、导光管、z方向移动装置、移动夹具装置、软管接口、软管、气阀、气压表、真空泵、固定管道；根据真空环境可以减少激光打孔光致等离子的产生和真空环境中无氧化氮化反应这一原理，通过在真空环境下激光打孔，减小制孔的锥度，抑制重铸层和减少微裂纹，改善微孔内壁质量，提高基材使用寿命，同时增强深孔加工能力。
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公开(公告)号：CN111250866B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202010105114.8
申请日：2020-02-20
Applicant: 江苏大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/064 , B23K26/382 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种改变激光入射角度来改善任意角度孔的加工质量的装置及方法，涉及激光打孔领域，包括底座、左定位支撑板、角度控制旋转轴、工件夹紧装置、螺栓、伸缩夹紧装置、右定位支撑板、支撑轴、旋转轴、旋转导轨、齿轮、定位固定螺栓孔和旋转单元；底座角度控制单元穿过左支撑板中心固定在定位支撑板上，右侧可伸缩夹具单元与左侧配合夹持多尺寸工件，通过角度旋转单元精确调整相应角度，确定好孔加工的位置后通过控制下方旋转单元齿轮的旋转速度，使旋转轴沿着旋转导轨进行连续稳定的旋转，使激光有一定的入射角度加工孔的内壁，更好的去除多余的材料，达到改善内壁加工质量及减小锥度的作用。
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公开(公告)号：CN102011067A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010586600.2
申请日：2010-12-14
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及一种耐空泡腐蚀双相钢合金材料，属于合金钢技术领域。它具有铁素体-奥氏体基体，并且铁素体体积百分含量为35-50％，该材料具有高耐海水腐蚀和耐空泡腐蚀性能，其特征在于具有如下的成分及质量百分比：Cr21-24%，Ni5-6.8%，Mn1.5-3%，Mo3-5%，Si0.2-1%，C0.01-0.025%，稀土Ce或者Y0.05-0.1%,余量为Fe。该材料具有良好的结构稳定性和热加工性能，因此适合于制造棒材、管材如焊管和无缝钢管、焊接材料、结构材料。本发明主要用于螺旋桨、海水泵、叶轮叶片等具有空泡腐蚀特性的产品中，其最大耐空泡腐蚀失重低于3mg/5h，在海水环境中具有优异的耐空泡腐蚀性能和海水冲蚀性能，强度高、韧性好。
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公开(公告)号：CN110280916B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201910462708.1
申请日：2019-05-30
Applicant: 江苏大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种利用等离子体制备沙漏形孔的双脉冲激光打孔装置及方法，涉及激光打孔领域，激光器A、激光器B发出的激光束经分束器分束后聚焦透镜聚焦后辐照在工件上，工件正下方设置有酚醛塑料制备的基板；工件设置在工作台上，调整工件的位置使得工件要要加工的孔的位置置于激光束的正下方，并在工件下方设置酚醛塑料制备的基板；开始双脉冲激光打孔，使用两个激光器，并确保两个激光器发出的激光束的相位不同，激光器发出的激光经分束器分束后再经聚焦透镜聚焦后辐照在工件上；双脉冲激光作用工件上的孔，穿过孔的激光束遇到酚醛塑料制备的基板后形成等离子体，等离子体与孔的出口发生作用，改变孔出口附近的孔径，完成沙漏形孔的制备。
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公开(公告)号：CN110497086B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201910656148.3
申请日：2019-07-19
Applicant: 江苏大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种基于激光放电改善制孔质量的激光打孔装置及方法，涉及激光打孔领域，三台激光器分别发射不同波长的激光，经过半透镜组合的光路形成一束复色光。复色光在光泵和单向透光镜以及部分反射镜组合产生的光谐振腔中来回振荡从而发生受激辐射，经聚焦透镜后产生间距极小的三个焦点。旋转工作台带动工件旋转配合三个焦点进行激光加工；利用反射镜和半透镜组合设计了第二条条光路，第二条光路同样含有三个不同波长的激光。通过光学测距仪测得的竖直孔深以及孔距工件各边的距离，可以在空间上打出任意角度的相交孔。激光在工件和电极板之间的静电场产生空气放电。通过上述技术，可以快速精确的加工空间相交孔，提高效率并改善制孔质量。
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