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公开(公告)号：CN115637414A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211346604.2
申请日：2022-10-31
Applicant: 江苏省特种设备安全监督检验研究院 , 江苏特检科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超声辅助离子注入的装置及其加工方法，该装置包括离子源（1）和注入真空腔体（6），在两者之间依次设有加速真空腔体（2）、磁分析系统（3）、插板阀（4），加速真空腔体（2）使离子束获得高速运动、磁分析系统（3）获得注入离子束、插板阀（4）用于控制注入离子束进入注入真空腔体（6）内；在注入真空腔体（6）内设置有正对离子注入方向的金属试样（5），且在金属试样（5）的背侧设有能够对金属试样（5）进行超声软化处理的超声波发生器（7）。加工时，先对金属试样进行超声软化处理，离子注入时、保持超声软化处理。本发明能够将金属试样的离子注入平均深度提高10nm‑10μm、振动疲劳寿命提高25%以上。
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公开(公告)号：CN115627450A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211307863.4
申请日：2022-10-25
Applicant: 江苏省特种设备安全监督检验研究院 , 江苏特检科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高温辅助离子注入的装置及加工方法，高温辅助离子注入的装置包括设置在真空腔内的工作靶（6）、以及射出离子束（1）的离子源，其特征在于：所述工作靶（6）的中空孔中装填有感应加热装置（5）且工作靶（6）的周侧设有固定安装离子注入工件（4）的嵌置槽，在工作靶（6）迎向离子束（1）的一侧设有能够检测离子注入工件（4）的表面温度的测温装置。本发明通过简化工作靶的结构以及感应加热装置的设置，使得工作靶易于加热且方便热传导，在离子注入改善金属材料表面性能之前，利用感应加热装置对离子注入工件加热，使得金属材料的表面能够在注入离子时的注入深度更深、注入层的厚度更厚，进而提高金属材料的表面性能。
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公开(公告)号：CN219099292U
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202222809322.3
申请日：2022-10-25
Applicant: 江苏省特种设备安全监督检验研究院 , 江苏特检科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高温辅助离子注入的装置，高温辅助离子注入的装置包括设置在真空腔内的工作靶（6）、以及射出离子束（1）的离子源，其特征在于：所述工作靶（6）的中空孔中装填有感应加热装置（5）且工作靶（6）的周侧设有固定安装离子注入工件（4）的嵌置槽，在工作靶（6）迎向离子束（1）的一侧设有能够检测离子注入工件（4）的表面温度的测温装置。本实用新型通过简化工作靶的结构以及感应加热装置的设置，使得工作靶易于加热且方便热传导，在离子注入改善金属材料表面性能之前，利用感应加热装置对离子注入工件加热，使得金属材料的表面能够在注入离子时的注入深度更深、注入层的厚度更厚，进而提高金属材料的表面性能。
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