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公开(公告)号:CN108136542A
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:CN201680062429.0
申请日:2016-08-23
Applicant: 法国圣戈班玻璃厂
IPC: B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , B23K26/08 , G02B27/09 , H01L21/02 , H01S5/40 , B23K26/352
Abstract: 本发明涉及在没有特别的限制的情况下由多个可并置的激光模块形成的用于对沉积在大宽度的基底上的涂层进行退火的激光装置,其中激光模块生成基本激光线(LA1,LA2),基本激光线(LA1,LA2)在长度方向上相互进行组合以用于形成单条激光线,每一基本线(LA1,LA2)呈现在长度方向上的与一条或两条相邻的基本激光线(LA2,LA1)的重叠(R);并且至少两条相邻的基本激光线(LA1,LA2)呈现相对于彼此的在宽度方向上的偏移(D),所述偏移(D)小于所述至少两条相邻的基本激光线(LA1,LA2)的宽度之和的一半;所述至少两条相邻的基本激光线(LA1,LA2)的重叠(R)使得在没有偏移(D)的情况下,单条激光线的单位长度功率分布在重叠区域(R)处呈现局部最大值。