公开(公告)号：CN102741189A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201180008846.4

申请日：2011-02-08

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： A.吉伦斯 ,  R.梅茨格 ,  E.彼得 ,  G.鲁伊滕贝格

IPC: C03C17/34

CPC classification number: C03C17/3435 ,  C03C15/00 ,  C03C2217/94 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/541 ,  Y10T428/24975

Abstract: 生产经涂覆的玻璃衬底的方法，其中a.将层厚度为100nm-1000nm的TCO层(2)沉积到玻璃衬底(1)上，b.将平均层厚度为0.5nm-5nm的包含Al2O3，SiO2，Si3N4和/或它们的混合物的惰性覆层(3)沉积到该TCO层(2)上，和c.将该玻璃衬底(1)在550℃-800℃加热，然后在酸中蚀刻，其中在蚀刻之前不除去该惰性覆层。