公开(公告)号：CN106854468A

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201611089276.7

申请日：2016-12-01

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司

Inventor： 王海 ,  田志扬 ,  赵晓亚 ,  曹文兵 ,  袁野 ,  曾朵清 ,  卢振成

IPC: C09K13/08

CPC classification number: C09K13/08

Abstract: 本发明公开了一种硅系多层薄膜用蚀刻液，包括氢氟酸溶液，氟化铵溶液，表面活性剂和下述通式表示的化合物，式中，R1表示氨基、氢、氧和羟基中的一种；R2表示氟、氯、氢、羟基和C1‑C4烃基中的一种。本发明所述硅系多层薄膜用蚀刻液具有使氮化硅层和氧化硅层蚀刻速度基本一致，蚀刻效果好的优点。

公开(公告)号：CN106854468B

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：CN201611089276.7

申请日：2016-12-01

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司

Inventor： 王海 ,  田志扬 ,  赵晓亚 ,  曹文兵 ,  袁野 ,  曾朵清 ,  卢振成

IPC: C09K13/08

Abstract: 本发明公开了一种硅系多层薄膜用蚀刻液，包括氢氟酸溶液，氟化铵溶液，表面活性剂和下述通式表示的化合物，式中，R1表示氨基、氢、氧和羟基中的一种；R2表示氟、氯、氢、羟基和C1‑C4烃基中的一种。本发明所述硅系多层薄膜用蚀刻液具有使氮化硅层和氧化硅层蚀刻速度基本一致，蚀刻效果好的优点。

公开(公告)号：CN105606591A

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201510982608.3

申请日：2015-12-23

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司

Inventor： 傅明星 ,  赵晓亚 ,  曹文兵 ,  汪靖 ,  曾朵清 ,  王海

IPC: G01N21/73

CPC classification number: G01N21/73

Abstract: 本发明公开了一种电子湿化学品中B杂质元素的分析方法，采用电感耦合等离子体原子发射光谱仪进行分析，其特征在于开机后在进样之前先用高纯无机酸清洗电感耦合等离子体原子发射光谱仪的进样系统48～72小时，再用超纯水冲洗6～18小时，中间不关机。本方法可排除检测背景中B元素的干扰，测量准确及测量精密度高、检出限低、测定快速、线性范围宽。

公开(公告)号：CN206228966U

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201621333193.3

申请日：2016-12-06

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司

Inventor： 袁野 ,  王海 ,  赵晓亚 ,  曾朵清 ,  曹文兵 ,  唐隆晶 ,  卢振成

IPC: B01D3/14 ,  B01D3/32

Abstract: 本实用新型公开了一种应用于提纯盐酸的精馏纯化塔，包括塔体，塔体包括提馏段、蒸汽精馏段、锥形过渡段和填料精馏段，提馏段、蒸汽精馏段、锥形过渡段和填料精馏段由下而上依次排布，蒸汽精馏段的外壁上设有加热夹套，加热夹套连接有加热系统，锥形过渡段和填料精馏段内均设有填料，提馏段的底部设有蒸汽进口，蒸汽精馏段上设有混合液进口，填料精馏段的顶部设有第一出口，提馏段的底部设有第二出口。该精馏纯化塔结构简单、科学便利、针对性强，能去除盐酸中颗粒型固体和挥发性小的杂物，很好地解决了盐酸的提纯问题。