公开(公告)号：CN102674275B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201210113224.4

申请日：2012-05-28

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司 ,  浙江巨化凯蓝新材料有限公司

Inventor： 张学良 ,  田志扬 ,  王峰涛 ,  吴周安 ,  鲍金禄 ,  李家才 ,  王树华 ,  沈小雁 ,  赵晓亚 ,  严锦晖 ,  卢振成 ,  潘绍忠

IPC: C01B25/10

Abstract: 本发明提供了一种五氟化磷的连续化生产装置，包括磷单质密闭料仓、螺旋送料机、氟磷反应器、冷却管道和多级过滤器，其特征在于：螺旋送料机上端与磷单质密闭料仓下端相连，螺旋送料机末端与氟磷反应器上部连接，氟磷反应器一端与冷却管道相连，冷却管道另一端与多级过滤器连接，本发明还提供使用上述装置连续化生产五氟化磷的方法，经预反应、连续反应、冷却、多级过滤得到高纯度的五氟化磷气体，本发明实现了五氟化磷的连续化生产，具有生产效率高、操作简单、安全可靠、产品质量好的优点；产品纯度可达99.8％以上，可以直接用于六氟磷酸锂生产。

公开(公告)号：CN103756681A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201310755319.0

申请日：2013-12-31

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司

Inventor： 王海 ,  田志扬 ,  潘绍忠 ,  张晓东 ,  张学良 ,  傅明星 ,  王瑞

IPC: C09K13/08

Abstract: 本发明公开了一种BOE蚀刻液组合物。包括浓度为0.5-30wt％的氢氟酸（HF），浓度为1-40wt％的氟化铵（NH4F）和水，所述组合物还含有添加剂，所述添加剂为脂肪族有机酸（C2-C12）、脂肪族有机碱（C2-C12）、脂肪族有机醇（C2-C12）中的一种或其混合物，BOE蚀刻液组合物还进一步含有烷基硫酸铵盐阴离子表面活性剂。相对传统的湿法蚀刻组合物，本发明所述BOE蚀刻液对二氧化硅具有较高的蚀刻选择性，可高速蚀刻二氧化硅，并且BOE蚀刻液对硅片具有低接触角，可明显改善BOE蚀刻液对硅片蚀刻层的润湿和蚀刻均匀性。

公开(公告)号：CN103613075A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201310637338.3

申请日：2013-12-02

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司

Inventor： 张学良 ,  田志扬 ,  周涛涛 ,  唐隆晶 ,  汪靖 ,  王海 ,  潘绍忠 ,  王瑞

IPC: C01B7/19

Abstract: 本发明公开了一种超纯电子级氢氟酸的制备方法。该方法包括如下步骤，原料预处理：将原料HF中As元素转化为HAsF6以及AsF5；气化精馏处理：除去杂质；过滤吸收：除去粒径大于0.2μm的颗粒，即得到质量百分浓度为49±0.2%的高纯电子级氢氟酸。本方法生产效率高、安全环保、产品质量稳定，杂质含量低。

公开(公告)号：CN102627298A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210112697.2

申请日：2012-04-17

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司 ,  巨化集团公司

Inventor： 程文海 ,  田志扬 ,  王凌振 ,  余永林 ,  唐隆晶 ,  潘绍忠 ,  周涛涛 ,  贝宏

IPC: C01C1/16

Abstract: 本发明公开了一种液相法生产高纯电子级氟化铵蚀刻液的方法，将质量百分浓度为49～70％的高纯HF水溶液和质量百分浓度为27～33％的高纯氨水溶液，按质量比1∶1.3～2.3进行中和反应，控制反应温度为10～50℃，至反应液PH值为6～7时结束反应，过滤去除粒径大于0.2微米的颗粒杂质后，即得到质量百分浓度为40±0.2％的高纯电子级氟化铵蚀刻液，本发明生产效率高、安全环保、产品质量稳定，各金属离子含量分别小于0.1ppb，大于0.2微米的颗粒杂质为20PCS/ml以内，大于0.3微米的颗粒杂质为10PCS/ml以内，大于0.5微米的颗粒杂质为2PCS/ml以内。

公开(公告)号：CN103756680A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201310754779.1

申请日：2013-12-31

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司

Inventor： 王海 ,  田志扬 ,  张晓东 ,  潘绍忠 ,  张学良 ,  韩虹羽 ,  魏俊明

IPC: C09K13/08

Abstract: 本发明公开了一种BOE蚀刻液的制备方法。包括如下步骤：（1）将浓度为49wt％氢氟酸（HF），浓度为30wt％氨水，超纯水依次加入到反应器中，于室温下搅拌反应6-12小时，得到氢氟酸（HF）与氟化铵（NH4F）的混合物；（2）向步骤（1）所得混合物中依次加入添加剂、烷基硫酸铵盐阴离子表面活性剂，室温下搅拌混合6-18小时，混合均匀后得通明的BOE蚀刻液。本发明所述方法制备的BOE蚀刻液对二氧化硅具有较高的蚀刻选择性，且可明显降低BOE蚀刻液对硅片的接触角。此外，本发明制备方法操作简单，所得BOE蚀刻液杂质含量低。

公开(公告)号：CN102674275A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210113224.4

申请日：2012-05-28

Applicant: 浙江凯圣氟化学有限公司 ,  巨化集团公司

Inventor： 张学良 ,  田志扬 ,  王峰涛 ,  吴周安 ,  鲍金禄 ,  李家才 ,  王树华 ,  沈小雁 ,  赵晓亚 ,  严锦晖 ,  卢振成 ,  潘绍忠

IPC: C01B25/10

Abstract: 本发明提供了一种五氟化磷的连续化生产装置，包括磷单质密闭料仓、螺旋送料机、氟磷反应器、冷却管道和多级过滤器，其特征在于：螺旋送料机上端与磷单质密闭料仓下端相连，螺旋送料机末端与氟磷反应器上部连接，氟磷反应器一端与冷却管道相连，冷却管道另一端与多级过滤器连接，本发明还提供使用上述装置连续化生产五氟化磷的方法，经预反应、连续反应、冷却、多级过滤得到高纯度的五氟化磷气体，本发明实现了五氟化磷的连续化生产，具有生产效率高、操作简单、安全可靠、产品质量好的优点；产品纯度可达99.8％以上，可以直接用于六氟磷酸锂生产。