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公开(公告)号：CN101609101B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910100767.0
申请日：2009-07-21
Applicant: 浙江大学
IPC: G01P15/097 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于硅基高速电光调制的波导环形谐振腔的微加速度计。它包括SOI基底、质量块、悬臂梁、环形谐振腔以及PN结。SOI基底通过悬臂梁与质量块连接，SOI基底与悬臂梁连接处制作环形谐振腔，环形谐振腔包括直波导、环形腔，最后在环形腔内外形成PN结。所述的直波导的宽度为400nm～1μm，环形腔的直径为10μm～30μm，两者的耦合距离为200nm～500nm。通过离子注入方式在环形谐振腔内外掺杂硼和磷形成P型区域和N型区域构成PN结。该微加速度计利用了环形谐振腔的共振效应和小尺寸波导的强约束效应条件下的硅的电光效应，可以达到很高的调制速度。本发明是一种结构尺寸小、集成度高、调制速度快的硅基环形谐振腔的微加速度计。
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公开(公告)号：CN102313642A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110252061.3
申请日：2011-08-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置，包括激光器、显微物镜、针孔、第一朗奇光栅、待测长焦距透镜、第二朗奇光栅、毛玻璃和CCD相机。激光器发出的光经显微物镜和针孔后形成一个发散光束，入射到第一朗奇光栅上，再经待测长焦距透镜和第二朗奇光栅，第二朗奇光栅放在第一朗奇光栅的某一泰伯级次位置上，那么第一朗奇光栅的泰伯像和第二朗奇光栅则会形成莫尔条纹，用CCD相机采集条纹，计算莫尔条纹角度就可以得到待测透镜的焦距。本发明结构简单，易于实现，精度高，可以用于长焦距透镜的检测和光学系统中焦距的精确测量，尤其可以精确测量大口径长焦距透镜（焦距为几米至几十米）的焦距，避免扫描检测带来的误差。
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公开(公告)号：CN101788570A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010104147.7
申请日：2010-01-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了一种三明治型光学微机械加速度传感器及其方法。它包括部件组成：激光光源、分光棱镜、第一光电探测器、第一硅基底、第二硅基底、第一亚波长光栅、弹性梁、位移执行器、第二光电探测器、质量块、第二亚波长光栅等组成。光从激光光源发出，通过扩束透镜组、分光棱镜产生两路激光、一路激光通过聚焦透镜组，照射到第一光电探测器上，另外一路激光通过分光棱镜、至玻璃基底、第一亚波长光栅、第二亚波长光栅，由第二光电探测器接收。为了使系统小型化，本发明将玻璃基和第一硅基底以及第二硅基底通过键合组成了一个三明治结构。本发明大大缩小系统的体积，能够实现传感系统的小型化，精度高，在航空，军事领域都具有很广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN101059576A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710068224.6
申请日：2007-04-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种二元光子筛。它具有透光平面基底、基底上设有不透光薄膜，在不透光薄膜上设有透光小孔，透光小孔为平面式透光小孔和凹坑式透光小孔或者平面式透光小孔和凸台式透光小孔。本发明的有益效果：1)相对于菲涅尔波带片，光子筛上的小孔在对应的菲涅尔透光环带区域的随机分布，能够有效的抑制光轴方向的高阶衍射和横向的旁瓣效应，改善成像对比度，可以得到更为锐利的焦点；2)相对于菲涅尔波带片和振幅型光子筛，二元光子筛具有更高的衍射效率。
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公开(公告)号：CN102759635B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210245672.X
申请日：2012-07-17
Applicant: 浙江大学
Inventor： 侯昌伦
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了一种基于集成光栅压电调制的微光学加速度传感器及其方法，微光学加速度传感器包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源和光栅，所述外壳内沿光路还设有底座、位于底座与光栅之间且滑动安装在所述外壳内的MEMS传感机构和位于所述光栅与MEMS传感机构之间且一面固定在所述光栅上的压电陶瓷部件，所述MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，所述质量块朝向所述光栅的一面为镀有金属铝膜的反射面。本发明引入压电陶瓷作为调制器件，能够大大提高传感器的探测灵敏度；通过探测两个不同级次衍射光强信号，采用锁相放大和差分处理，降低电路噪声，提高系统测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103175992A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310061106.8
申请日：2013-02-27
Applicant: 浙江大学
Inventor： 侯昌伦
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了一种集成光栅电光效应的微光学加速度传感器，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源、光栅和MEMS传感机构，所述MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，所述质量块朝向光栅的一面为光反射面，还设有用于检测干涉光束光强的光电探测器，所述的干涉光束为被光栅反射的光束和被光反射面反射的光束发生干涉形成；所述光栅和MEMS传感机构之间设有用于对所述光反射面出射光束进行位相调制的电光晶体，还设有用于驱动所述电光晶体产生电光效应的电压驱动模块，以及根据所述光电探测器的信号得到相应的加速度的信号处理模块。本发明还公开了利用上述微光学加速度传感器的检测方法。
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公开(公告)号：CN101788570B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201010104147.7
申请日：2010-01-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了一种三明治型光学微机械加速度传感器及其方法。它包括部件组成：激光光源、分光棱镜、第一光电探测器、第一硅基底、第二硅基底、第一亚波长光栅、弹性梁、位移执行器、第二光电探测器、质量块、第二亚波长光栅等组成。光从激光光源发出，通过扩束透镜组、分光棱镜产生两路激光、一路激光通过聚焦透镜组，照射到第一光电探测器上，另外一路激光通过分光棱镜、至玻璃基底、第一亚波长光栅、第二亚波长光栅，由第二光电探测器接收。为了使系统小型化，本发明将玻璃基和第一硅基底以及第二硅基底通过键合组成了一个三明治结构。本发明大大缩小系统的体积，能够实现传感系统的小型化，精度高，在航空，军事领域都具有很广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN100485426C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200710068224.6
申请日：2007-04-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种二元光子筛。它具有透光平面基底、基底上设有不透光薄膜，在不透光薄膜上设有透光小孔，透光小孔为平面式透光小孔和凹坑式透光小孔或者平面式透光小孔和凸台式透光小孔。本发明的有益效果：1)相对于菲涅尔波带片，光子筛上的小孔在对应的菲涅尔透光环带区域的随机分布，能够有效的抑制光轴方向的高阶衍射和横向的旁瓣效应，改善成像对比度，可以得到更为锐利的焦点；2)相对于菲涅尔波带片和振幅型光子筛，二元光子筛具有更高的衍射效率。
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公开(公告)号：CN102589446A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210056348.3
申请日：2012-03-06
Applicant: 浙江大学
Inventor： 侯昌伦
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种高精度微位移测量装置，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源和光栅，所述的光栅沿光轴方向可滑动的安装在外壳内，还设有压电陶瓷部件，该压电陶瓷部件一侧与所述的光栅的表面相贴合，另一侧与外壳相对固定，通过控制压电陶瓷部件的自身形变量来调整光栅和待测物之间间距，使在该间距附近，通过光栅直接反射的光束和经待测物反射面反射的光束干涉得到的各个级次方向上的光强变化速率达到最大，使得待测物的微小位移量可以通过光强变化量得到放大，本发明相对现有微位移传感器提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN100498418C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200710071600.7
申请日：2007-09-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种全彩色显示系统。它由一个或多个全彩色显示单元组成或者一个或多个全彩色显示单元与一个或多个光栅光阀组成，全彩色显示单元依次放置有光源、光频调制光栅阵列、选频光阑、透镜耦合器、第一光栅光阀、级次选择光阑，在光频调制光栅阵列设有第一基底，在第一基底上设有纵向排列的可寻址光栅组成的阵列。本发明的有益效果：1)相对于以三原色混合为基础的显示系统，全彩色显示系统具有可显示所有色彩或绝大多数色彩的能力。2)相对于以多元色混合为基础的显示系统，全彩色显示系统具有结构简单且可以显示更多颜色的优点。3)相对于单独调制光频或光强的光调制器，全彩色显示单元具有既可以调制光强，又可以调制光频的特点。
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