一种基于反馈式微环谐振器的法诺微环光波导生物传感器

    公开(公告)号:CN119044114A

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202411159465.1

    申请日:2024-08-22

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于反馈式微环谐振器的法诺微环光波导生物传感器,包括微流基台、微流通道层、透明盖板组成的微流封装结构以及法诺微环光波导生物传感芯片。本发明通过法诺微环光波导生物传感芯片中的反馈波导将微环的through端和add端相连接形成法诺共振,从而获得高消光比并降低了传感器的检测极限。本发明采用非对称MZI的设计方式,将法诺微环光波导生物传感芯片中的微环波导宽度和反馈波导宽度设计为不相等,从而具有不同的模式有效折射率,使得传感灵敏度极大增加。本发明可以用平面集成光波导工艺制作,只需要一次刻蚀完成,工艺简便,成本低,性能高,损耗小,体积小,稳定性好具有很大的生产化潜力。

    一种基于阵列波导光栅的二维面型多波束测距系统

    公开(公告)号:CN114609610A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202210177180.5

    申请日:2022-02-25

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于阵列波导光栅的二维面型多波束测距系统,包括光频梳源、收发模块、耦合器、光环形器、阵列波导光栅、二维排布光纤阵列、透镜、探测模块、光电探测器阵列、信号处理单元。本发明使用光频梳源取代多激光器降低系统复杂度并极大减少成本,并且由于光频梳源梳齿可调,能够灵活地选择通道个数和通道间隔,便于设计控制和调整,系统可扩展型强。结合阵列波导光栅的多通道结构实现了波分复用,并通过二维排布的光纤阵列完成了多波束的出射,增大了视场范围,通道间不同波长可以减小探测串扰,显著提高数据采集速率。无需使用机械转动结构实现扫描,基于硅基的集成光电子器件有效减小了系统尺寸。

    一种基于折射率调控的覆盖SU-8包层的硅波导模式耦合器

    公开(公告)号:CN111025474B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201911072027.0

    申请日:2019-11-05

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种基于折射率调控的覆盖SU‑8包层的硅波导模式耦合器。本发明硅波导模式耦合器包括第一级模式转换器和第二级模式转换器,第一级模式转换器包括第一覆盖SU‑8包层的波导阵列(I),单模光纤与第一级模式转换器中的波导阵列在空气中对接,第二级模式转换器包括第二覆盖SU‑8包层的波导阵列(II)和第三覆盖SU‑8包层的波导阵列(III),所述的覆盖SU‑8包层的波导阵列均由覆盖同样厚度SU‑8的四根硅纳米线波导。本发明提出的SU‑8包层的间隔渐变的硅波导阵列的端面耦合器具有工艺简单、耦合效率高、能与标准单模光纤匹配的特点,满足光通信、集成光学等领域的实际需求。

    一种具有平坦输出强度的片上光学相控阵扫描器

    公开(公告)号:CN111796292A

    公开(公告)日:2020-10-20

    申请号:CN202010635401.X

    申请日:2020-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种具有平坦输出强度的片上光学相控阵扫描器。本发明是激光器光源信号通过I0端口输入波导芯片;经过多级3dB功分器将功率等分到各根波导,每根波导利用独立的相位调制器控制波导间的相位差;之后各根波导路径的光场进入发射天线,特点在于天线由弯曲波导阵列构成,其中上半区的弯曲波导和下半区的弯曲波导呈中心对称分布,发射光远场发生干涉,可以形在不同偏转角度上具有峰值强度一致的光场分布。本发明有效解决了传统光学相控阵光束的峰值强度随着扫描角度增大迅速衰减的问题,能够满足宽视场角扫描的激光雷达、自由空间光通信等应用需求。

    一种基于折射率调控的覆盖SU-8包层的硅波导模式耦合器

    公开(公告)号:CN111025474A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911072027.0

    申请日:2019-11-05

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种基于折射率调控的覆盖SU-8包层的硅波导模式耦合器。本发明硅波导模式耦合器包括第一级模式转换器和第二级模式转换器,第一级模式转换器包括第一覆盖SU-8包层的波导阵列(I),单模光纤与第一级模式转换器中的波导阵列在空气中对接,第二级模式转换器包括第二覆盖SU-8包层的波导阵列(II)和第三覆盖SU-8包层的波导阵列(III),所述的覆盖SU-8包层的波导阵列均由覆盖同样厚度SU-8的四根硅纳米线波导。本发明提出的SU-8包层的间隔渐变的硅波导阵列的端面耦合器具有工艺简单、耦合效率高、能与标准单模光纤匹配的特点,满足光通信、集成光学等领域的实际需求。

    一种稀疏/半波排布二维天线的集成光学相控阵

    公开(公告)号:CN110737144A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201910877296.8

    申请日:2019-09-17

    Abstract: 本发明公开了一种稀疏/半波排布二维天线的集成光学相控阵,包括光源、分光器、相位调制阵列、二维阵列天线;其基本原理是,光源发出的光通过所述分光器将光强等分,随后将光强等分后的光束输入到所述相位调制阵列中,通过所述相位调制阵列对输入的光束的波导阵元进行相位调制,将经过相位调制后具有不同相位的光场输入到所述二维阵列天线,通过所述二维阵列天线将输入的光场发射,通过控制相位差使得近场相位面倾斜,光场在远场相干叠加,实现光束偏转,通过不同的电压控制可实现光束的二维动态扫描。本发明基于集成光学相控阵,具有CMOS工艺兼容、易于大规模集成、成本低等特点。

    一种基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器

    公开(公告)号:CN105526971A

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201610014723.6

    申请日:2016-01-07

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 时尧成 刘鹏浩

    CPC classification number: G01D21/02

    Abstract: 本发明公开了一种基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器,包括宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器;且宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器自左向右依次耦合连接,第一耦合微腔、第二耦合微腔设置在总线波导的同一侧,且通过倏逝场效应分别与总线波导相耦合。本发明中的第一耦合微腔、第二耦合微腔具有不同的谐振波长和不同的光场能量分布比例,第一耦合微腔具有相对更高的折射率响应灵敏度;第二耦合微腔具有相对更高的温度响应灵敏度,利用两个微腔在折射率响应灵敏度和温度响应灵敏度上的显著差异,便能实现在一次测量中同时获得折射率、温度信息。

    一种二氧化硅与聚合物混合集成光波导型热光调制器

    公开(公告)号:CN103941428A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201410188411.8

    申请日:2014-05-05

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 时尧成 彭伟

    Abstract: 本发明公开了一种二氧化硅与聚合物混合集成光波导型热光调制器。本发明包括输入波导、输入连接波导、1×2光功分器、第一锥形波导、传输臂、第二锥形波导、2×1合波器、输出连接波导以及输出波导;输入光从输入波导经过经输入连接波导与1×2光功分器的一端相连接,1×2光功分器产生干涉,得到两束1:1的分光;1×2光功分器的一端经过第一锥形波导与传输臂的一端相连接,传输臂的另一端经过第二锥形波导与2×1合波器的一端相连接,2×1合波器的另一端经过输出连接波导与输出波导相连接。本发明具有结构紧凑、制作方法简便且波长不敏感的特点,同时聚合物光波导的制作工艺简单,降低了本发明中热光调制器的工艺难度。

    一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器

    公开(公告)号:CN103808692A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410025205.5

    申请日:2014-01-20

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 时尧成 刘鹏浩

    Abstract: 本发明公开了一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器。本发明包括宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器;且宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器自左向右依次耦合连接。光探测器为集成式MSM型硅基光电探测器,用于测量最终输出光强;宽带光源为外接的发光二极管所有输入光波导均为单模传输平面集成光波导;微腔传感单元为二维光子晶体微腔或一维光子晶体纳米梁微腔。本发明以强度探测取代频谱探测,避免使用光谱仪,结合平面光波导的集成化优势及微纳光腔的高灵敏度特性,实现光传感功能。

    一种小孔显微成像装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101620362B

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN200910099466.0

    申请日:2009-06-08

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明涉及一种小孔显微成像装置,现有的显微成像装置尺寸较大,系统复杂并且调试困难。本发明包括光源、载物台、CCD传感器、成像室、滤光片、图像采集卡和三维活动支架。三维活动支架上安装有传感器架,CCD传感器设置在传感器架上,成像室为倒立的内部中空的圆锥体,成像室底面与传感器架配合连接。CCD传感器芯片的感光面与成像室的底面位置对应。成像室的锥顶开有小孔。成像室内活动设置有滤光片,小孔所在平面、滤光片平面均与成像室底面平行。CCD传感器与图像采集卡信号连接。载物台设置在成像室的正下方,光源对应载物台设置。本发明可实现从可见到红外的宽光谱放大成像,不存在渐晕效应且具有无限景深。

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