公开(公告)号：CN1222672A

公开(公告)日：1999-07-14

申请号：CN98122886.0

申请日：1998-12-27

Applicant: 浙江大学现代光学仪器研究所

Inventor： 卓永模 ,  牟旭东 ,  杨甬英 ,  游艺锋

IPC: G01B9/04

Abstract: 一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成,光源1采用半导体激光器,入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上,形成反射光和衍射光共路干涉,通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较,本方案具有结构简单紧凑,性能稳定可靠,有利于实现小型化等优点,纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。

公开(公告)号：CN2356314Y

公开(公告)日：1999-12-29

申请号：CN98247446.6

申请日：1998-12-27

Applicant: 浙江大学现代光学仪器研究所

Inventor： 卓永模 ,  牟旭东 ,  杨甬英 ,  游艺锋

IPC: G01B9/04

Abstract: 一种激光扫描力显微镜，其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成，光源1采用半导体激光器，入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上，形成反射光和衍射光共路干涉，通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较，本方案具有结构简单紧凑，性能稳定可靠，有利于实现小型化等优点，纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。