一种提高飞秒激光双光子聚合3D打印微结构强度的方法

    公开(公告)号:CN118288533A

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202410272753.1

    申请日:2024-03-11

    Abstract: 本发明一种提高飞秒激光双光子聚合3D打印微结构强度的方法,包括基片清洗、滴胶、前烘、飞秒激光曝光、光刻胶显影和紫外光辐照等步骤。在光刻胶初步显影后,更换新鲜显影液,并置于紫外光辐照下,对所打印微结构进行二次固化。本发明针对具有复杂中空结构或高纵横比特征的易变形微结构在显影过程中面临的结构损毁坍塌难题,提出一种紫外固化后处理方法。该方法一方面通过紫外固化处理提高螺旋微结构的强度与结构完整性;此外,可降低飞秒激光双光子聚合3D打印的激光阈值,优化飞秒激光双光子聚合3D打印的打印精度,避免发生激光功率过高引起的光刻胶炸胶,提升飞秒激光双光子3D打印良品率和打印效率。

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