中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

28 records (took 0.023 seconds)

    显微观察用光学装置
    1.
    发明授权
    显微观察用光学装置 有权

    公开(公告)号：CN103649814B

    公开(公告)日：2016-06-29

    申请号：CN201280032676.8

    申请日：2012-05-17

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 中村共则 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘

    IPC: G02B21/00 ,  G02B7/02 ,  G02B21/02

    CPC classification number: G02B21/361 ,  G02B5/006 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/04 ,  G02B21/16 ,  G02B21/248 ,  G02B27/0018

    Abstract: 显微观察用光学装置（4）是使来自样本（S）的红外光入射至摄像机（3）的光学装置，具备：冷屏（13），其是具有对应于低倍率的显微光学系统（5）的开口（13d、13e）且使来自样本（S）的光通过至摄像机（3）的配置于真空容器（12）内的光圈构件；暖屏（10），其是具有对应于高倍率的显微光学系统（5）的开口（14）且使来自样本（S）的光向冷屏（13）通过的配置于真空容器（12）外的光圈构件；以及支撑构件（11），其将暖屏（10）能够出入地支撑于来自样本（S）的光的光轴上；暖屏（10）在摄像机（3）侧具有反射面（15），开口（14）小于开口（13d、13e）。

    显微镜和试料观察方法
    2.
    发明公开
    显微镜和试料观察方法 失效

    公开(公告)号：CN1906520A

    公开(公告)日：2007-01-31

    申请号：CN200580001606.6

    申请日：2005-02-25

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 寺田浩敏 ,  荒田育男 ,  常盘正治 ,  田边浩 ,  坂本繁

    IPC: G02B21/00

    CPC classification number: G02B21/0016 ,  G02B21/33 ,  Y10S359/90

    Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察：第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。

    半导体故障解析装置
    3.
    发明公开
    半导体故障解析装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN114616475A

    公开(公告)日：2022-06-10

    申请号：CN202080074955.5

    申请日：2020-11-24

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 活洲政敬 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘 ,  石塚利道

    IPC: G01R31/265 ,  G01R31/302 ,  G01N21/41 ,  G01N21/59 ,  G01N25/72

    Abstract: 本发明的半导体故障解析装置(1)具备：测试器(2)，其对半导体器件(100)施加刺激信号；光源(3)，其产生照射于半导体器件(100)的照射光(L1)；固体浸没式透镜(4)，其配置于照射光(L1)的光路上；光检测部(5)，其接受反射光(L2)，并且输出对应于反射光(L2)的检测信号；光学系统(6)，其配置于光源(3)与固体浸没式透镜(4)之间，经由固体浸没式透镜(4)对半导体器件(100)出射照射光(L1)，且配置于固体浸没式透镜(4)与光学检测部(5)之间，将经由固体浸没式透镜(4)而接受的反射光(L2)出射至光检测部(5)；及计算机(7)，其利用检测信号获得与半导体器件(100)的故障部位相关的信息。光源(3)出射中心波长为880nm以上且980nm以下的照射光(L1)。固体浸没式透镜(4)由GaAs形成。

    显微镜和试料观察方法
    7.
    发明授权
    显微镜和试料观察方法 失效

    公开(公告)号：CN100388043C

    公开(公告)日：2008-05-14

    申请号：CN200580001606.6

    申请日：2005-02-25

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 寺田浩敏 ,  荒田育男 ,  常盘正治 ,  田边浩 ,  坂本繁

    IPC: G02B21/00

    CPC classification number: G02B21/0016 ,  G02B21/33 ,  Y10S359/90

    Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察；第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。

    光检测器及分光测定装置
    9.
    发明公开
    光检测器及分光测定装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN119278359A

    公开(公告)日：2025-01-07

    申请号：CN202280096429.8

    申请日：2022-12-19

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 大冢贤一 ,  荒田育男

    IPC: G01J3/02 ,  G01J1/04 ,  G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  H10F77/30

    Abstract: 本发明的光检测器检测沿X轴方向分光的被测定光中的一次光。光检测器具备：封装，其具有开口；窗部，其将开口密封，并使一次光透过；以及光检测元件，其配置于封装体内，具有与窗部相对的受光区域，并检测一次光。受光区域包含：在X轴方向上排列的多个光检测通道。窗部包含：光透过构件，其具有光入射面及光出射面；以及线性可变滤光涂层，其形成于光入射面及光出射面中的一方，并沿X轴方向透过波长变化。

Patent Agency Ranking