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公开(公告)号：CN101123844B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200710121656.9
申请日：2007-09-12
Applicant: 清华大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明涉及微波等离子体反应腔，属于微波等离子体激发技术领域，包括：空心圆柱形主腔体、空心圆柱形过渡腔、渐变波导、石英玻璃片和拉杆；该主腔体前端与该过渡腔相连通，该过渡腔前端与该渐变波导相连，在渐变波导与过渡腔之间，放置石英玻璃片，该拉杆从主腔体后端插入主腔体内，用于调节主腔体的长度。本发明可在高气压下不同频率的微波输入下，获得空气等离子体；该腔体耗能低、微波转换效率高。
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公开(公告)号：CN101119608A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200710121655.4
申请日：2007-09-12
Applicant: 清华大学
IPC: H05H1/30
Abstract: 本发明涉及降低微波等离子体激发难度的方法，属于微波等离子体激发技术领域，本方法包括；在普通的微波反应腔中，插入喷气电离管；在电离管内通入工作气体；对喷气电离管逐渐加大电压直至气体放电，使喷气电离管产生电离流；调节喷气电离管的工作电压使电离流被吹到反应腔内的高场强区域；向反应腔内逐步加入微波能，直至等离子体团激发；调整微波能以维持等离子体，关闭喷气电离管的电压。本发明可使普通微波等离子体反应腔在高气压或大气压下激发等离子体的难度降低，对微波等离子体的实际应用有促进作用。
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公开(公告)号：CN101119609B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200710121657.3
申请日：2007-09-12
Applicant: 清华大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明涉及狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔，属于微波等离子体激发技术领域，该反应包括上下均由可拆卸法兰密闭的竖直放置空心圆柱形反应腔体，在腔体中部，环绕有一横截面为矩形的环形波导，环形波导内壁与腔体外壁重合；环形波导内壁上开凿有与环形波导内驻波波节数目对应的狭缝，狭缝的位置在驻波波节处；环形波导外壁开有用于与方圆模式转换波导或者耦合天线相连的一个通孔；其特征在于，在环形波导内壁上，开有一大缝，用于在反应腔形成中部最大、向外围逐渐降低的对称强电场，与狭缝形成的电场互补，使反应腔内电场分布均匀。本发明有效的改善了电场分布，产生的等离子体更加均匀，在腔体中心部位也能存在。
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公开(公告)号：CN101119609A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200710121657.3
申请日：2007-09-12
Applicant: 清华大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明涉及狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔，属于微波等离子体激发技术领域，该反应包括上下均由可拆卸法兰密闭的竖直放置空心圆柱形反应腔体，在腔体中部，环绕有一横截面为矩形的环形波导，环形波导内壁与腔体外壁重合；环形波导内壁上开凿有与环形波导内驻波波节数目对应的狭缝，狭缝的位置在驻波波节处；环形波导外壁开有用于与方圆模式转换波导或者耦合天线相连的一个通孔；其特征在于，在环形波导内壁上，开有一大缝，用于在反应腔形成中部最大、向外围逐渐降低的对称强电场，与狭缝形成的电场互补，使反应腔内电场分布均匀。本发明有效的改善了电场分布，产生的等离子体更加均匀，在腔体中心部位也能存在。
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公开(公告)号：CN101123844A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710121656.9
申请日：2007-09-12
Applicant: 清华大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明涉及微波等离子体反应腔，属于微波等离子体激发技术领域，包括：空心圆柱形主腔体、空心圆柱形过渡腔、渐变波导、石英玻璃片和拉杆；该主腔体前端与该过渡腔相连通，该过渡腔前端与该渐变波导相连，在渐变波导与过渡腔之间，放置石英玻璃片，该拉杆从主腔体后端插入主腔体内，用于调节主腔体的长度。本发明可在高气压下不同频率的微波输入下，获得空气等离子体；该腔体耗能低、微波转换效率高。
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