公开(公告)号：CN105241599A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510743907.1

申请日：2015-11-05

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  张俊斌 ,  王建冲 ,  钟音 ,  路益嘉 ,  季林红

IPC: G01L5/00

Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。

公开(公告)号：CN105241599B

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201510743907.1

申请日：2015-11-05

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  张俊斌 ,  王建冲 ,  钟音 ,  路益嘉 ,  季林红

IPC: G01L5/00

Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。

公开(公告)号：CN205192672U

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201520875751.8

申请日：2015-11-05

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  张俊斌 ,  王建冲 ,  钟音 ,  路益嘉 ,  季林红

IPC: G01L5/00

Abstract: 本实用新型公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。