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公开(公告)号：CN115480287A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202110665783.5
申请日：2021-06-16
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
Abstract: 本发明提供一种能量束探测装置，包括：一碳纳米管结构，一支撑结构以及一红外探测器。该碳纳米管结构包括多个碳纳米管，该多个碳纳米管平行于待测能量束的方向；该碳纳米管结构通过该支撑结构部分悬空；以及该红外探测器设置于所述碳纳米管结构的下方并与该碳纳米管结构间隔设置，该红外探测器用于探测悬空部分碳纳米管结构的温度并根据所述碳纳米管结构的温度分布成像。本发明还提供采用所述能量束探测装置探测能量束的方法。
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公开(公告)号：CN115458380A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110640244.6
申请日：2021-06-09
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J37/02 , G01N23/2202 , G01N23/2251
Abstract: 本发明涉及一种扫描电子显微镜样品的处理方法。所述扫描电子显微镜样品的处理方法包括以下步骤：S1：提供一待观测的样品；S2：提供一碳纳米管阵列，该碳纳米管阵列包括一基底及设置于基底表面的多个碳纳米管；以及S3：从所述碳纳米管阵列中拉取一碳纳米管膜，将该碳纳米管膜铺设在所述样品的表面，该碳纳米管膜包括多个通孔。
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公开(公告)号：CN115458380B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202110640244.6
申请日：2021-06-09
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J37/02 , G01N23/2202 , G01N23/2251
Abstract: 本发明涉及一种扫描电子显微镜样品的处理方法。所述扫描电子显微镜样品的处理方法包括以下步骤：S1：提供一待观测的样品；S2：提供一碳纳米管阵列，该碳纳米管阵列包括一基底及设置于基底表面的多个碳纳米管；以及S3：从所述碳纳米管阵列中拉取一碳纳米管膜，将该碳纳米管膜铺设在所述样品的表面，该碳纳米管膜包括多个通孔。
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公开(公告)号：CN114644330A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202011497805.3
申请日：2020-12-17
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
Abstract: 本发明涉及一种电子黑体材料，其为一多孔碳材料层，该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成，该多个碳材料颗粒之间存在多个微孔，所述碳材料颗粒的尺寸为纳米级或者微米级，所述微孔的尺寸为纳米级或者微米级。本发明进一步提供一种电子探测结构，包括一电子探头以及一电流表，该电流表包括一第一接线柱和一第二接线柱，该第一接线柱与该电子探头电连接，该第二接线柱接地，所述电子探头为所述电子黑体材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114644335A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202011497833.5
申请日：2020-12-17
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: C01B32/15 , C01B32/158 , G01N23/2251
Abstract: 本发明提供一种电子黑体腔体，具有一内表面，一腔室以及一开口，该腔室由所述内表面合围形成，该开口用于使电子束进入到所述腔室内，该腔体的内表面设置有多孔碳材料层，该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成，该多个碳材料颗粒之间存在纳米级或微米级的间隙，该多孔碳材料层为一电子黑体。本发明还提供一种采用上述电子黑体腔体的二次电子探测装置。
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公开(公告)号：CN115458379B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202110639098.5
申请日：2021-06-08
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管器件。所述碳纳米管器件包括一导电基底及一碳纳米管阵列，所述导电基底包括一头部及一长柄，所述头部定义一通孔，该通孔周围的头部表面设置一碳纳米管阵列，该碳纳米管阵列包括多个基本垂直于端部表面的碳纳米管。本发明进一步提供一种该碳纳米管器件的使用方法。
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公开(公告)号：CN114644330B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202011497805.3
申请日：2020-12-17
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
Abstract: 本发明涉及一种电子黑体材料，其为一多孔碳材料层，该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成，该多个碳材料颗粒之间存在多个微孔，所述碳材料颗粒的尺寸为纳米级或者微米级，所述微孔的尺寸为纳米级或者微米级。本发明进一步提供一种电子探测结构，包括一电子探头以及一电流表，该电流表包括一第一接线柱和一第二接线柱，该第一接线柱与该电子探头电连接，该第二接线柱接地，所述电子探头为所述电子黑体材料。
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公开(公告)号：CN115458379A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110639098.5
申请日：2021-06-08
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管器件。所述碳纳米管器件包括一导电基底及一碳纳米管阵列，所述导电基底包括一头部及一长柄，所述头部定义一通孔，该通孔周围的头部表面设置一碳纳米管阵列，该碳纳米管阵列包括多个基本垂直于端部表面的碳纳米管。本发明进一步提供一种该碳纳米管器件的使用方法。
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公开(公告)号：CN114646996A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202011497817.6
申请日：2020-12-17
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明提供一种电子束检测装置，包括：一多孔碳材料层，所述多孔碳材料层具有一通孔，该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成，该多个碳材料颗粒之间存在纳米级或微米级间隙，且该通孔的横截面积小于等于待测电子束的横截面积；一法拉第杯，该法拉第杯设置于所述多孔碳材料层下面，该法拉第杯具有一开口，该开口与所述碳纳米管多孔层的通孔贯通设置；以及一图像显示器，该图像显示器与所述多孔碳材料层电连接，该图像显示器根据多孔碳材料层中产生的电荷多少形成颜色不同的图像，根据图像显示器中图像的颜色得到待测电子束的图像。本发明还提供一种电子束的检测方法。
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