公开(公告)号：CN105122003A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201380073423.X

申请日：2013-12-09

Applicant: 特罗尼克斯微系统有限公司

Inventor： C·科古瑞斯 ,  O·盖刚 ,  C·佩塞拉 ,  Y·杨 ,  B·李 ,  S·徐

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及一种用于测量z轴角运动的微机械感测器装置，其包括2个振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)，每一个具有至少一个检测质量块(2.1、2.2)。悬挂结构(3.1、4.1、4.2、5.1、6.1、…、6.4)将所述2个振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)保持在所述衬底(1)上方的移动悬挂位置，用于在驱动模式方向(x轴)上和在感测模式方向(y轴)上平行于所述衬底平面运动。耦合支撑结构(4.1、4.2)将所述耦合结构(5.1、5.2、6.1、…、6.4)连接到锚结构(3.1、3.2)并使得所述耦合结构(5.1、5.2)可以旋转摆动运动，所述旋转摆动运动的旋转轴垂直于所述衬底平面。每个所述振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)包括至少一个往复运动质量块(7.1、7.2)，其通过感测模式弹簧(8.1、…、8.4)耦合到所述至少一个检测质量块(2.1、2.2)，所述感测模式弹簧(8.1、…、8.4)在感测模式方向比在驱动模式方向(x)更柔性，用于激励每个所述振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)的振动运动。每个检测质量块(2.1、2.2)的感测电极结构(10.1、10.2)设计用于检测平行于衬底平面的感测模式运动，所述耦合支撑结构(4.1、4.2)设计成也使得所述耦合结构(5.1、5.2、6.1、…、6.4)可以在驱动模式方向(x)上平移运动。

公开(公告)号：CN105683710B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201480058985.1

申请日：2014-12-11

Applicant: 特罗尼克斯微系统有限公司

Inventor： C·科古瑞斯 ,  卢卡·里贝托 ,  里卡尔多·西尼奥雷蒂

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5621 ,  G01C19/5747

Abstract: 用于测量z轴角速率的微机械传感器设备包括限定衬底平面和垂直于衬底平面的z轴的衬底(1)。第一振动结构(104a)具有第一梭块(105a)和第一质量块(106a)，第一质量块(106a)由第一传感模式弹簧(110a‑d)耦合到第一梭块(105a)。有在镜像对称设置(除了电极以外)中的第二振动结构(104b)。第一和第二悬置结构在驱动模式方向(x)上将第一和第二梭块(105a、b)柔性地悬置在衬底(1)之上。第一和第二梭块(105a、105b)悬置在衬底之上用于至少在驱动模式方向(x)上移动，其中驱动模式方向和传感模式方向平行于衬底平面。此外，第一和第二振动结构(104a、104b)弹性地耦合到彼此。设备具有用于分离地限定下面的频率对中的至少一个的分离结构元件(107a‑d、109a‑d；108a‑d)：(1)驱动模式的反相频率和同相/反相频率分离；(2)传感模式的反相频率和同相/反相频率分离。

公开(公告)号：CN105683710A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480058985.1

申请日：2014-12-11

Applicant: 特罗尼克斯微系统有限公司

Inventor： C·科古瑞斯 ,  卢卡·里贝托 ,  里卡尔多·西尼奥雷蒂

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5621 ,  G01C19/5747

Abstract: 用于测量z轴角速率的微机械传感器设备包括限定衬底平面和垂直于衬底平面的z轴的衬底(1)。第一振动结构(104a)具有第一梭块(105a)和第一质量块(106a)，第一质量块(106a)由第一传感模式弹簧(110a-d)耦合到第一梭块(105a)。有在镜像对称设置(除了电极以外)中的第二振动结构(104b)。第一和第二悬置结构在驱动模式方向(x)上将第一和第二梭块(105a、b)柔性地悬置在衬底(1)之上。第一和第二梭块(105a、105b)悬置在衬底之上用于至少在驱动模式方向(x)上移动，其中驱动模式方向和传感模式方向平行于衬底平面。此外，第一和第二振动结构(104a、104b)弹性地耦合到彼此。设备具有用于分离地限定下面的频率对中的至少一个的分离结构元件(107a-d、109a-d；108a-d)：(1)驱动模式的反相频率和同相/反相频率分离；(2)传感模式的反相频率和同相/反相频率分离。