公开(公告)号：CN103256890B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201310053303.5

申请日：2013-02-19

Applicant: 特莎有限公司

Inventor： 色格·玛丽尔 ,  本杰明·乌里奥德 ,  A·M·麦勒杜

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01B11/007 ,  G01B5/012

Abstract: 本发明涉及一种接触式探针，该接触式探针包括：固定构件；感应器，该感应器由一个或数个弹性元件相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的检测系统，该光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移被驱动；接收由所述光源发出的光的光学图像传感器；光掩模，该光掩模插设在光路中位于所述光源和所述光学图像传感器之间。

公开(公告)号：CN103256891A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310053307.3

申请日：2013-02-19

Applicant: 特莎有限公司

Inventor： 本杰明·乌里奥德 ,  色格·玛丽尔 ,  A·M·麦勒杜

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/03

CPC classification number: G01B11/007 ,  G01B5/012

Abstract: 本发明涉及一种接触式探针，该接触式探针包括：固定构件；感应器，该感应器由一个或数个弹性元件相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的检测系统，该光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移被驱动；接收由所述光源发出的光的光学图像传感器；光掩模，该光掩模插设在光路中位于所述光源和所述光学图像传感器之间。

公开(公告)号：CN103256890A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310053303.5

申请日：2013-02-19

Applicant: 特莎有限公司

Inventor： 色格·玛丽尔 ,  本杰明·乌里奥德 ,  A·M·麦勒杜

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01B11/007 ,  G01B5/012

Abstract: 本发明涉及一种接触式探针，该接触式探针包括：固定构件；感应器，该感应器由一个或数个弹性元件相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的检测系统，该光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移被驱动；接收由所述光源发出的光的光学图像传感器；光掩模，该光掩模插设在光路中位于所述光源和所述光学图像传感器之间。

公开(公告)号：CN103256891B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201310053307.3

申请日：2013-02-19

Applicant: 特莎有限公司

Inventor： 本杰明·乌里奥德 ,  色格·玛丽尔 ,  A·M·麦勒杜

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/03

CPC classification number: G01B11/007 ,  G01B5/012

Abstract: 本发明涉及一种接触式探针，该接触式探针包括：固定构件；感应器，该感应器由一个或数个弹性元件相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的检测系统，该光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移被驱动；接收由所述光源发出的光的光学图像传感器；光掩模，该光掩模插设在光路中位于所述光源和所述光学图像传感器之间。