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公开(公告)号:CN102484150A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080037798.7
申请日:2010-06-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/043 , H01L2924/0002 , Y02E10/50 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种多接合光电转换装置、集成型多接合光电转换装置及它们的制造方法,具有双端子构造、且以由先被层叠的层制约少的条件层叠在后的层。层叠分光灵敏度不同的多个光电转换元件,在至少与光入射的一侧相反的相反侧的端部的光电转换元件(2、4)进行连接的连接侧的最上层分别具有导电性薄膜层(5a、5b、5c、5d),在其他光电转换元件(3)进行连接的连接侧的最上层及最下层分别具有导电性薄膜层(16a、16b),经由在透明绝缘材料中含有导电性微粒子的各向异性导电粘结层(6a、6b)而使最上层及最下层彼此接合。各向异性导电粘结层(6a、6b)内的导电性微粒子进行各层的层叠方向的电连接,导电性薄膜层(5a、5b、5c、5d)进行作为各接合材料的光电转换层(2、3、4)的横向(面内方向)的电连接。