公开(公告)号：CN104249559A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201310260179.X

申请日：2013-06-26

Applicant: 珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 李越

IPC: B41J2/01

Abstract: 本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法，包括：基板内设置掺杂层，所述基板上表面与所述掺杂层上表面平齐；基板表面形成弹性膜；所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙；通过所述缝隙在所述基板上的掺杂层内刻蚀形成凹槽；其中，所述弹性膜悬设在所述凹槽上，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。本发明技术方案，在基板内设置杂质层，可以防止腐蚀液过多腐蚀基板，控制凹槽的大小，减小液体喷射装置的产品尺寸，提高打印分辨率。

公开(公告)号：CN103935128A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410182638.1

申请日：2014-04-29

Applicant: 大连理工大学 ,  珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 邹赫麟 ,  何敬志 ,  李越 ,  陈晓坤

IPC: B41J2/16 ,  B41J2/14 ,  B41J2/01

Abstract: 本发明提供一种液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置，其中，方法包括在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室；通过键合工艺在所述压力腔室上成形过渡层，并在所述过渡层上形成喷孔板；通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔。本发明是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加液体喷头的压力腔室的数量时，在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷头的成品率，降低制造成本。

公开(公告)号：CN103770468A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201310733314.8

申请日：2013-12-26

Applicant: 大连理工大学 ,  珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 邹赫麟 ,  何敬志 ,  李越 ,  陈晓坤

IPC: B41J2/16 ,  B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种液体喷射装置及其一体成型制造方法，其中，方法包括在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在第一基底的第一表面上形成与多个压力发生部件对应的压力腔室以及与多个压力腔室连通的公共腔室；通过键合工艺在压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在喷孔板上形成有与压力腔室连通的喷孔。本发明提供的液体喷射装置及其一体成型制造方法，是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。

公开(公告)号：CN104417065A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201310409423.4

申请日：2013-09-10

Applicant: 珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 李越

IPC: B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种喷墨头制造方法、喷墨头及打印设备，该喷墨头制造方法包括：在基板的第一表面上形成压电元件；在压电元件背离基板一侧形成振动板；在压电元件上表面所在的第一平面与振动板上方的第二平面之间的空间内形成第二胶层，在第二胶层上形成第三胶层；对第二胶层及第三胶层进行曝光处理及显影处理，使第二胶层及第三胶层上的部分光刻胶固化，未固化的部分去除，以在第二胶层上形成公共腔室及压力腔室，在第三胶层上形成多个喷孔。本发明提供的喷墨头制造方法、喷墨头及打印设备，不仅提高了制造效率及制造精度，而且在加工中即使压力室和侧壁尺寸的减小也不会影响到基底的机械强度和性能，利于提高喷墨头生产过程中的成品率。

公开(公告)号：CN104441996A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201310432877.3

申请日：2013-09-22

Applicant: 珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 李越

IPC: B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备，其中方法包括：在基底上形成压力发生部件；在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室；在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层；对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。本发明提供的液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备能够解决现有的液体喷墨头喷射精度较差的问题，以提高打印速度和打印精度，还能避免采用粘合剂导致的打印质量降低的问题，且能够提高压力腔室的机械强度。

公开(公告)号：CN104441995A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201310432859.5

申请日：2013-09-22

Applicant: 珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 李越

IPC: B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备，其中方法包括：在基底上形成压力发生部件；在基底的第一表面上涂覆树脂胶，形成第一胶层；对第一胶层中的第一区域进行灰度曝光处理，形成梯形状的公共腔室；对第一胶层中的第二区域进行曝光处理，形成压力腔室；在压力腔室和梯形状的公共腔室远离基底的表面上形成喷孔板；在基底中与第一表面相对的第二表面上与公共腔室对应的位置处形成通透的供墨孔。本发明提供的液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备能够解决现有的液体喷墨头容易出现液体墨水回流到供墨孔，而影响打印速度的问题，还能避免采用粘合剂导致的打印质量降低的问题，且能够提高压力腔室的机械强度。

公开(公告)号：CN104015485A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201410169532.8

申请日：2014-04-24

Applicant: 大连理工大学 ,  珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 邹赫麟 ,  陈晓坤 ,  佟鑫 ,  李越

IPC: B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置，其中方法包括在基板上表面依次层叠振动板、下电极和压电陶瓷薄膜层，以形成衬底；通过光刻工艺在所述压电陶瓷薄膜层上表面形成多个间隔的光刻胶层，该光刻胶层的纵向截面的上部宽且下部窄；在所述压电陶瓷薄膜层上表面以及所述光刻胶层上表面形成电极层，位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层与位于所述光刻胶层上表面的部分电极层相互断开；通过漂洗液去除所述光刻胶层和其上表面的部分电极层，保留位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层，以形成上电极。本发明可以对上电极的尺寸进行精确控制，提高液体喷头的制造成品率。

公开(公告)号：CN104669787A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201310625960.2

申请日：2013-11-28

Applicant: 珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 李越

IPC: B41J2/01

Abstract: 本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法，其中，方法包括在基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室。本发明提供的液体喷射装置及其制造方法，是在基底的第一表面上一体成形与压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在基底上单独一体成形压力腔室，因而不会减小基底的机械强度，在制造过程中可以避免基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。

公开(公告)号：CN104441990A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201310444465.1

申请日：2013-09-23

Applicant: 珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 李越

IPC: B41J2/045

Abstract: 本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法。本发明液体喷射装置的制造方法包括：在基板上蚀刻形成凹槽；在所述凹槽内形成牺牲层，所述牺牲层与基板的表面平齐；在所述牺牲层上形成弹性膜，以使所述弹性膜搭接在所述凹槽的边缘，并部分覆盖所述凹槽的敞口，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形；去除所述牺牲层。本发明通过电镀法形成的牺牲层具有耐高温、沉积速度快且容易去除等特点，避免传统方法使用的牺牲层材料去除速度慢以及高温下容易变形而导致桥式结构的变形等问题，使制备的桥式结构形成速度快且结构平坦，优化了压电式喷射装置中桥式结构的制备工艺，提高了产品质量。

公开(公告)号：CN104228337A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201310248051.1

申请日：2013-06-20

Applicant: 珠海纳思达企业管理有限公司

Inventor： 李越

IPC: B41J2/01

Abstract: 本发明提供一种液体喷射头和液体喷射装置。所述液体喷射头包括喷嘴板和衬底，所述喷嘴板上具有喷嘴，所述喷嘴板和所述衬底之间的空间形成压力腔室，且所述压力腔室通过所述喷嘴板上的所述喷嘴与外界连通，所述衬底上具有能使所述压力腔室内的压力发生改变的压力发生部件，所述喷嘴板在背离压力腔室的一面设置有超疏水材料层，该超疏水材料层至少位于围绕所述喷嘴的区域。本发明还提供一种包含上述液体喷射头的液体喷射装置。使用本发明提供的液体喷射头提升了打印质量，并延长了喷嘴板的使用寿命。