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公开(公告)号：CN107796452B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN201711140948.7
申请日：2017-11-16
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
IPC: G01F1/44
Abstract: 一种气体流量计，包括：外壳体、进气管道、整流套、顶盖和连接器，进气管道设置在外壳体的内部，外壳体与进气管道之间的环状部位形成有沿进气管道的轴向延伸的多个回流气道，顶盖与外壳体的上端连接，且顶盖与外壳体、进气管道的端部之间形成安装空间，整流套设置在安装空间内；连接器与外壳体的下端连接；整流套包括一个主流道和与主流道连通的多个分流道，多个分流道与多个回流气道一一对应的设置并连通，主流道与进气管道的出口端连通；多个回流气道中的一个回流气道中设置有流量传感器。本发明可以使用较小的尺寸空间获得较大的流量测量范围，具有较大的量程比。
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公开(公告)号：CN107796452A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201711140948.7
申请日：2017-11-16
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
IPC: G01F1/44
CPC classification number: G01F1/44
Abstract: 一种气体流量计，包括：外壳体、进气管道、整流套、顶盖和连接器，进气管道设置在外壳体的内部，外壳体与进气管道之间的环状部位形成有沿进气管道的轴向延伸的多个回流气道，顶盖与外壳体的上端连接，且顶盖与外壳体、进气管道的端部之间形成安装空间，整流套设置在安装空间内；连接器与外壳体的下端连接；整流套包括一个主流道和与主流道连通的多个分流道，多个分流道与多个回流气道一一对应的设置并连通，主流道与进气管道的出口端连通；多个回流气道中的一个回流气道中设置有流量传感器。本发明可以使用较小的尺寸空间获得较大的流量测量范围，具有较大的量程比。
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公开(公告)号：CN105806431A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610190523.6
申请日：2016-03-29
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
IPC: G01F1/78
CPC classification number: G01F1/78
Abstract: 本申请提供了一种质量流量计，涉及过程控制装置领域。该流量计包括MEMS流量传感模块、信号控制器、显示器和控制模块。当按应用需求调节控制阀时，流量传感器将采集到的质量流量信号传送给信号控制器，信号控制器按预先设定的软体，将当前的质量流量数值通过显示器显示，或通过用户界面远传到指定数据中心，提供快速反馈信息，指导控制阀门的调节，达到精准流量控制的目的。
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公开(公告)号：CN201322660Y
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200820065019.4
申请日：2008-09-04
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司
Abstract: 本实用新型公开了一种温度湿度复合传感器。该温度湿度复合传感器包括用于获取原始信号的一次仪表和进行原始信号处理的二次仪表，所述一次仪表是MEMS温度湿度传感器检测模块，所述二次仪表包括微控制器模块、分别与微控制器模块相连的信号处理模块和存储模块，MEMS温度湿度传感器检测模块与所述信号处理模块相连，电源模块向一次仪表和二次仪表供电。与现有技术相比，本实用新型能同时对环境的温度和湿度进行测量，具有快速的响应时间、高灵敏度和高度可靠性，封装灵活，可用于多种环境下的温度和湿度测量，并且功耗低，成本低。
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公开(公告)号：CN201247514Y
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200820065018.X
申请日：2008-09-04
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司
Abstract: 本实用新型公开了一种采用MEMS技术的微功耗气体浓度报警器。针对现有技术中产品响应时间长，适用范围不广缺陷，本实用新型提出的气体浓度报警器包括浓度传感器检测模块、控制模块和报警器主体，由浓度传感器检测模块构成一次仪表，获取原始信号，控制模块和报警器主体构成二次仪表；浓度传感器检测模块包括由MEMS浓度传感芯片、防腐蚀基板和探测罩构成的MEMS浓度传感器。与现有技术相比，本实用新型产品密实度好、强度高、韧性好、耐冲击强，结构简单均匀、应用范围广泛。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN207423280U
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201721536098.8
申请日：2017-11-16
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
IPC: G01F1/44
Abstract: 一种气体流量计，包括：外壳体、进气管道、整流套、顶盖和连接器，进气管道设置在外壳体的内部，外壳体与进气管道之间的环状部位形成有沿进气管道的轴向延伸的多个回流气道，顶盖与外壳体的上端连接，且顶盖与外壳体、进气管道的端部之间形成安装空间，整流套设置在安装空间内；连接器与外壳体的下端连接；整流套包括一个主流道和与主流道连通的多个分流道，多个分流道与多个回流气道一一对应的设置并连通，主流道与进气管道的出口端连通；多个回流气道中的一个回流气道中设置有流量传感器。本实用新型可以使用较小的尺寸空间获得较大的流量测量范围，具有较大的量程比。
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公开(公告)号：CN205619980U
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201620248580.0
申请日：2016-03-29
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
IPC: G01F1/78
Abstract: 本申请提供了一种质量流量计，涉及过程控制装置领域。该流量计包括MEMS流量传感模块、信号控制器、显示器和控制模块。当按应用需求调节控制阀时，流量传感器将采集到的质量流量信号传送给信号控制器，信号控制器按预先设定的软体，将当前的质量流量数值通过显示器显示，或通过用户界面远传到指定数据中心，提供快速反馈信息，指导控制阀门的调节，达到精准流量控制的目的。
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公开(公告)号：CN202433045U
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201120553177.6
申请日：2011-12-27
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司
IPC: G01F1/76
Abstract: 本实用新型公开了一种流量传感器组件及气体质量流量计。针对现有技术中热式流量传感器组件存在易受潮湿污染而影响检测性能的缺陷，本实用新型提供了一种具有防治潮湿污染功能的流量传感器组件。本流量传感器组件包括流量传感元件与安装在流量传感元件上的控温加热组件，利用控温加热组件对流量传感元件加热，使其保持在工作条件温度范围内的某一恒定温度内，能够迅速气化凝结在流量传感元件表面的液态物质，保持流量传感元件表面的灵敏度。本实用新型还提供一种安装有该流量传感器组件的气体质量流量计。本流量传感器组件原理可靠，结构简单、小巧，加工方便，应用范围广，气体质量流量计检测状态好，适用性强。
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公开(公告)号：CN201748942U
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN201020282407.5
申请日：2010-08-05
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司
IPC: G01F1/86
Abstract: 本实用新型公开了一种气体质量流量计。针对现有技术中的气体质量流量计对气流稳定性要求较高，在实际运用中通常需要在管路前端附加安装整流器，并且技术方案也并不清楚的缺陷，本实用新型提供了一种热分布式气体质量流量计。该气体质量流量计的气路管道分为主管道与分流管道，并将文丘里测量管置于分流管道内。在此基础上本实用新型还从文丘里测量管设计参数以及增加气流分配装置两方面优化了产品设计。本实用新型提供的热分布式气体质量流量计具有测量管孔径扩大、不易发生阻塞，仪表量程扩展、能够测量大流量气流，测量精度高、效果好的；检测传感器有保护的优点。并且产品结构简单，便于加工，适用广泛。
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公开(公告)号：CN300964923D
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200830076807.9
申请日：2008-07-28
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司
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