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公开(公告)号:CN117452766A
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202310811505.5
申请日:2023-07-03
IPC: G03F1/62
Abstract: 本发明涉及用于光刻的保护膜片、包括其的表膜和其形成方法。本文中提供用于光刻的保护膜片,其包括:包括碳的芯层、在所述芯层上的界面层、和在所述界面层上的保护层。所述界面层包括键合至所述芯层的碳原子的反应性基团,并且所述反应性基团包括氧或氮。所述保护层包括元素“M”,并且元素“M”键合至所述反应性基团的氧或氮。
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公开(公告)号:CN107108216A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580069353.X
申请日:2015-08-10
Applicant: 秀博瑞殷株式公社
Abstract: 本发明涉及一种氧化碳纳米粒子及其制备方法、包含该氧化碳纳米粒子的有机无机复合体以及所述有机无机复合体的制备方法,所述氧化碳纳米粒子是纳米大小的被氧化的碳的球状粒子,在X射线光电子能谱分析(X‑ray Photoelectron Spectroscopy,XPS)下,碳氧原子比(C/O atomic ratio)为1至9,进行X射线光电子能谱分析时,从C‑O(OH)键中观察到最大的氧分数。所述氧化碳纳米粒子的物理性质优于诸如石墨或碳黑的传统的碳材料,制备工艺经济且环保。此外,所述氧化碳纳米粒子可用作有机无机复合体的填充物质,当如此应用时,环保,经济,分散性优秀,并且无需进行功能化等后续处理,可直接使用。
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公开(公告)号:CN107106996A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580070499.6
申请日:2015-08-12
Applicant: 秀博瑞殷株式公社
IPC: B01D71/02 , B01D67/00 , C01B32/182 , C01B32/184
Abstract: 本发明涉及溶剂纯化用石墨烯薄膜及其制造方法、溶剂纯化系统。本发明的溶剂纯化用石墨烯薄膜由多个石墨烯板状薄片层叠而成,层叠的多个成对石墨烯板状薄片中的至少一对石墨烯板状薄片包含连接层与层之间的物理键或者化学键,其制造方法包括:分散液形成步骤,将氧化石墨烯分散于蒸馏水,形成氧化石墨烯分散液;分散液约束步骤,将氧化石墨烯分散液约束在一对基板之间;水热反应及热还原步骤,向基板之间的所述氧化石墨烯分散液施加热和压力,进行水热反应,以使氧化石墨烯热还原并使石墨烯与石墨烯相互粘接。根据本发明,通过亲油性的表面特性和微细孔,能够实现根据极性的亲水‑亲油成分分离以及尺寸排阻分离,因此能够在精细化工领域中使用。
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