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公开(公告)号：CN1774793A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200480010371.2
申请日：2004-04-16
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
Abstract: 本发明提供一种除去抗蚀剂的方法，至少包括：使臭氧溶液作用于处理面的工序1、和使有机溶剂作用于处理面的工序2。由此，本发明可以提供能够高效率地除去基板表面的抗蚀剂的除去抗蚀剂的方法和除去抗蚀剂的装置。
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