公开(公告)号：CN101131546A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200710142032.5

申请日：2007-08-20

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 罗贞仁 ,  朴明国 ,  梁浩锡

IPC: G03F7/32 ,  G03F7/30 ,  H01L21/00

CPC classification number: C03C15/00 ,  C09K13/08 ,  H01L21/31111

Abstract: 一种湿蚀刻溶液，包括氟化氢、无机酸、非离子型表面活性剂和水，其中所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的约0.1％～约3％，所述无机酸的量为所述蚀刻溶液重量的约10％～约40％并且所述无机酸是硝酸、硫酸和/或盐酸中的一种或多种，所述非离子型表面活性剂的量为所述蚀刻溶液重量的约0.0001％～约5％并且所述非离子型表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚和/或十二烷基硫酸铵中的一种或多种。

公开(公告)号：CN101131546B

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200710142032.5

申请日：2007-08-20

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 罗贞仁 ,  朴明国 ,  梁浩锡

IPC: G03F7/32 ,  G03F7/30 ,  H01L21/00

CPC classification number: C03C15/00 ,  C09K13/08 ,  H01L21/31111

Abstract: 一种湿蚀刻溶液，包括氟化氢、无机酸、非离子型表面活性剂和水，其中所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的约0.1％～约3％，所述无机酸的量为所述蚀刻溶液重量的约10％～约40％并且所述无机酸是硝酸、硫酸和/或盐酸中的一种或多种，所述非离子型表面活性剂的量为所述蚀刻溶液重量的约0.0001％～约5％并且所述非离子型表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚和/或十二烷基硫酸铵中的一种或多种。

公开(公告)号：CN102225874A

公开(公告)日：2011-10-26

申请号：CN201110150434.6

申请日：2007-08-20

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 罗贞仁 ,  朴明国 ,  梁浩锡

IPC: C04B41/91 ,  C03C25/68 ,  H01L21/00

CPC classification number: C03C15/00 ,  C09K13/08 ,  H01L21/31111

Abstract: 一种湿蚀刻溶液，包含：氟化氢，所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；氟化铵，所述氟化铵的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；具有至少一个羧基的有机酸，所述有机酸的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；醇，所述醇的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；和水，其中所述湿蚀刻溶液表现出1∶1～1∶3的硅氧化物对金属硅化物的选择性比率。

公开(公告)号：CN102225874B

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201110150434.6

申请日：2007-08-20

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 罗贞仁 ,  朴明国 ,  梁浩锡

IPC: C04B41/91 ,  C03C25/68 ,  H01L21/00

CPC classification number: C03C15/00 ,  C09K13/08 ,  H01L21/31111

Abstract: 一种湿蚀刻溶液，包含：氟化氢，所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；氟化铵，所述氟化铵的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；具有至少一个羧基的有机酸，所述有机酸的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；醇，所述醇的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；和水，其中所述湿蚀刻溶液表现出1∶1～1∶3的硅氧化物对金属硅化物的选择性比率。